航天支撑技术基金(11GFZ-JJ02-005)
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
- 相关作者：成宇翔张卫平陈文元张弓关冉更多>>
- 相关机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”航天支撑技术基金更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 石英微机械陀螺的研究进展被引量：4
- 2012年
- 首先介绍了石英微机械陀螺基于压电效应和科氏加速度的工作原理,回顾了石英微机械陀螺的发展历程,并且介绍了石英微机械陀螺的国内外发展现状。然后,针对石英微机械陀螺不同的结构进行了分类,并且对于不同结构的石英微机械陀螺的具体加工工艺、性能参数、应用领域等进行了综述。最后,对不同结构类型的石英微机械陀螺的尺寸、加工工艺,检测轴向,精度等参数进行了总结和对比,在此基础上分析了石英微机械陀螺的发展趋势,并指出了石英微机械陀螺研究中存在的问题,例如石英加工过程中产生的侧壁晶棱的不平整、石英侧壁电极的制作困难以及石英微机械陀螺多轴化应用的限制等。
- 关冉张卫平陈文元张弓成宇翔
- 关键词：石英微机械陀螺压电效应
