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安徽省高校省级自然科学研究项目(2006kj294B)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：王从东吕松更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇抛光
  • 1篇超光滑
  • 1篇超光滑表面

机构

  • 1篇安徽理工大学

作者

  • 1篇吕松
  • 1篇王从东

传媒

  • 1篇安徽建筑工业...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
液流悬浮抛光技术的应用研究被引量：3
2006年
应用液流悬浮抛光技术获得的光电产品表面,不仅具有较好的表面粗糙度,而且抛光面没有亚表面破坏层,并且由抛光引起的表面残余应力极小。同时研制了数控液流悬浮抛光机床,并对硅晶片等材料进行了加工试验。
吕松王从东
关键词：抛光超光滑表面
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共1页<1>
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