国家自然科学基金(60807039F050105)
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
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- 相关机构：中国科学院苏州大学更多>>
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- 相关领域：一般工业技术电子电信机械工程金属学及工艺更多>>
- 大粘度复合纳米材料面投影微立体光刻系统的分辨率研究被引量：1
- 2011年
- 基于数字微反射镜的动态掩膜面投影微立体光刻技术是一种基于快速原型制造思想的新型微细结构加工手段,其系统中常用树脂槽和涂覆装置使得其无法适用于粘度大的固化材料。为实现粘度大的复合纳米材料的固化制造,构建了新型的基于数字微反射镜技术的动态掩膜微立体光刻系统,该系统的加工横向分辨率由系统的光学分辨率与树脂特性共同决定。当单层树脂固化厚度超过临界值时,系统的横向分辨率将降低。根据实验中测量光学系统的分辨率以及树脂的工作曲线,得到本系统的最高横向分辨率可以达到14μm。
- 周庚侠班书宝孙天玉顾济华吴东岷
- 关键词：分辨率
- 面投影微立体光刻系统的开发和研究
- 2011年
- 面投影微立体光刻由于具有加工精确度高、分辨率高、速度快等特点而成为最有前途的微立体加工技术之一。本文介绍了实验室开发的用于复杂器件制作的面投影微立体光刻系统,该系统中采用LED模组作为光源,为了适用粘度大的固化材料的加工,设计新的树脂槽和涂覆系统。对系统中使用的投影镜头的光学分辨率以及树脂的工作曲线进行了测量,系统的加工横线分辨率可以达到14μm。利用该系统成功制作了齿轮的模型。
- 周庚侠班书宝吴东岷顾济华
- 关键词：复合材料
- 微立体光刻中光敏树脂特性的实验研究被引量：1
- 2011年
- 微立体光刻技术是基于快速原型制造技术思想的新型微细加工技术。在微立体光刻制造中,光敏树脂在一定波长的光照下发生固化反应,光敏树脂的曝光量阈值和透射深度是光敏树脂的两个重要的特性参数。对掺入质量比20%氧化硅纳米颗粒自行制备的光敏树脂的两种特性值进行测试研究,测量得到光敏树脂在氮气环境中比与在空气中的曝光量阈值小,分别为5.6 mJ/cm2以及86.5 mJ/cm2;加入光吸收剂后的透射深度比不加入光吸收剂的透射深度小,分别为14以及60。根据测量的树脂的特性值,使用实验室开发的微反射镜动态掩膜微立体光刻系统,成功制作微齿轮。
- 周庚侠班书宝顾济华孙天玉吴东岷
- 关键词：复合材料
