周口师范学院青年科研基金(zksyqn201318A)
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 相关作者：杨欢欢王筠豆瑞霞李铁生杨志广更多>>
- 相关机构：周口师范学院郑州大学更多>>
- 发文基金：周口师范学院青年科研基金国家自然科学基金河南省基础与前沿技术研究计划项目更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术化学工程更多>>
- 单组分化学增幅型光致抗蚀剂LB膜的制备及光刻应用被引量：1
- 2015年
- 合成了光致产酸剂N-对甲苯磺酸酯马来酰亚胺(TsOMI),及其与十二烷基甲基丙烯酰胺(DDMA)、对叔丁氧基苯乙烯碳酸酯(t-BOCSt)聚合得到三元共聚物。研究了该聚合物分子在气/液界面的成膜性,LB膜的光敏性和光刻性能。结果表明:该聚合物分子可在不同材质的基板上制备规整均匀的LB膜,在250nm紫外光照下,LB膜表现出化学增幅作用。以40层该聚合物LB膜为抗蚀层,经紫外曝光20min、显影10s后可得到分辨率为0.75μm(该掩膜所能达到的最大分辨率)的正型LB膜图形,进一步刻蚀得到分辨率为0.75μm的金膜图形。
- 王筠杨志广杨欢欢李铁生
- 关键词：光刻
- 赖氨酸与酸酐合成酰胺化合物的方法探究被引量：1
- 2013年
- 以赖氨酸和酸酐为原料合成了含羧基和氨基的酰胺类化合物。考察了溶剂、原料配比、反应温度、反应时间对产率的影响,确定了最佳反应条件,提高了合成产率。最后用熔点测定仪对产品进行了检测,用红外光谱仪和元素分析仪等对产品进行了表征。
- 王全忠王筠豆瑞霞
- 关键词：酰胺化合物赖氨酸
- 邻苯二甲酰亚胺苯磺酸酯的合成研究被引量：1
- 2015年
- 以邻苯二酸酐和苯磺酰氯为起始原料,在温和条件下经二步合成反应,合成了N-羟基邻苯二甲酰亚胺对苯磺酸酯,总收率达到72%。产物通过红外、核磁共振和元素分析进行鉴定表征。
- 杨欢欢郭振强王筠
