国家自然科学基金(10676032)
- 作品数：2 被引量：12H指数：2
- 相关作者：付绍军刘颖谭鑫洪义麟徐向东更多>>
- 相关机构：中国科学技术大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学技术大学青年基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 衍射法X射线激光分束光栅平行度测量系统(英文)被引量：3
- 2009年
- 介绍了软X射线光栅分束镜Mach-Zehnder干涉等离子体诊断系统调整用双频光栅线条平行度的衍射法测量系统。该系统主要由激光器,准直镜,待测光栅,精密转台(含角度测量仪),直线工作台,光栅调节架和探测器组成。分析了系统中各种误差对测量精度的影响其中包括距离测量误差、波长误差、光栅准直误差即光栅刻线与入射光和反射光组成的平面不垂直、光栅转动过程的误差、光栅表面面型误差、探测器误差,经计算得到系统的绝对误差为minute。计算表明,该系统的测量精度满足软X射线Mach-Zehnder干涉系统对双频调整光栅的性能要求。
- 谭鑫刘颖刘正坤付绍军
- 关键词：平行度衍射法
- 13．9nm Laminar 分束光栅的研制被引量：12
- 2009年
- 利用全息-离子束刻蚀工艺制作了工作波长为13.9 nm的Laminar分束光栅。光栅的线密度为1 000 lp/mm,槽深13 nm,占宽比0.43,Au膜厚度为40 nm左右;当工作波长为13.9 nm,入射角为81.2°时,其0级与-1级衍射光衍射效率乘积的最大值为8.1%,同时0级与-1级衍射效率亦接近,约为27%和30%。实验结果表明,研制的Laminar光栅可用于13.9 nm激光的分束,能够获得>7%的分束效率。
- 谭鑫刘颖徐向东洪义麟付绍军
- 关键词：软X射线衍射光栅干涉仪
