国家自然科学基金(50501035)
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 相关作者：徐可为张建民刘明霞黄平孙浩亮更多>>
- 相关机构：西安交通大学陕西师范大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 纳米多层膜“软”相结构参量对硬度的Hall-Petch表征被引量：6
- 2008年
- 采用直流磁控溅射方法制备了不同调制比的Ni/Al纳米多层膜,利用X射线衍射技术和纳米压入连续刚度法分析了薄膜微结构及塑性变形的尺度依赖性.实验结果表明,尽管调制比有所不同,多层膜的硬度与'软'相的微结构特征参量随调制波长减小具有相似变化规律,说明多层膜的变形机制对'软'相的微结构约束存在敏感性.随着薄膜特征尺度的减小,为统一多层膜中晶界和膜界两种强化机制,提出一个与'软'相相关的表征参量r(r=Lsub/d,Lsub表示亚层厚,d表示晶粒尺寸),这使得薄膜变形在整个尺度范围内均符合Hall-Petch关系.
- 刘明霞黄平张建民徐可为
- 关键词：纳米多层膜塑性变形HALL-PETCH关系
- 基体对应力诱导的纳米晶W膜开裂行为的影响
- 2008年
- 采用磁控溅射方法同时在Si(100)和聚酰亚胺(PI)基体上沉积W膜,对比研究不同基体约束对纳米晶W膜微观结构及应力诱导的开裂行为的影响.结果发现,在两种基体上W膜的裂纹形态明显不同.在Si基体上W膜的裂纹呈楔形,而在PI基体上W膜的裂纹呈半圆柱形凸起于薄膜表面.这种裂纹形态的差异源于两种基体上W膜的变形机理不同.在刚性Si基体上,W膜的裂纹扩展是通过晶粒平面内的转动实现的,而在柔性PI基体上W膜裂纹扩展是通过排列晶粒在平面内、外的转动协调完成的.分析表明,两种截然不同的开裂行为与不同基体上薄膜内应力的变化规律、基体对薄膜的异质约束能力密切相关.
- 孙浩亮宋忠孝徐可为
- 关键词：残余应力晶粒
