国家自然科学基金(50205017)
- 作品数:11 被引量:48H指数:3
- 相关作者:刘景全杨斌蔡炳初周广华陈迪更多>>
- 相关机构:上海交通大学吉林大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金上海市科委重大科技攻关项目更多>>
- 相关领域:电气工程一般工业技术电子电信理学更多>>
- 一种新型非接触圆盘压电微电机
- 2006年
- 提出了一种新型圆盘压电微电机,定子与转子间是非接触型的。定子工作在B06振动模态,并激励定子产生圆周方向单向行波。该电动机具有结构简单、易于制作、转速高等特点,电动机测试最高转速达到2 225 r/m in。
- 周广华刘景全杨斌
- 关键词:压电电动机
- SU-8胶及其在MEMS中的应用被引量:26
- 2003年
- SU 8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶。它适于制超厚、高深宽比的MEMS微结构。SU 8胶在近紫外光范围内光吸收度低 ,故整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致 ,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形 ;它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性 ;SU 8胶不导电 ,在电镀时可以直接作为绝缘体使用。由于它具有较多优点 ,被逐渐应用于MEMS的多个研究领域。本文主要分析SU 8胶的特点 ,介绍其在MEMS的一些主要应用 ,总结了我们研究的经验 ,以及面临的一些问题 。
- 刘景全蔡炳初陈迪朱军赵小林杨春生
- 关键词:SU-8胶MEMS微机电系统
- 一种新型非对称电极的非接触压电微马达
- 提出一种基于非对称电极驱动的非接触压电微马达。圆盘型压电陶瓷作为激励源以产生用向行波。研究了该电极激励行波的条件。根据理论分析,设计了马达样机进,行了实验。并比较了对称电极和非对称电极两种情况下转子转速与频率的关系,得知...
- 杨斌刘景全陈迪蔡炳初
- 关键词:非接触微马达
- 文献传递
- 圆盘型非接触压电微马达定子的振动分析被引量:2
- 2005年
- 提出一种圆盘型非接触压电微马达,采用有限元方法分析了马达定子的振动模态和固有频率,对定子的振幅与施加电压的关系进行了数值分析。最后,采用激光多谱勒测振仪对定子的振型和振幅进行了测试,实验结果与有限元分析吻合较好,为马达定子的设计和优化提供了理论依据。
- 周广华杨斌刘景全蔡炳初
- 关键词:压电马达非接触定子有限元方法
- 非接触压电马达驱动机理分析被引量:11
- 2005年
- 主要研究行波型非接触压电马达的驱动机理,该文引入边界层概念,对振动体产生的边界层进行分析,探讨行波型超声波非接触驱动机理。给出在振子产生的边界层内超声波非接触驱动主要为声流驱动,而在边界层外是由壁面行波产生的斜向声辐射压力驱动。
- 刘景全杨斌周广华蔡炳初杨志刚
- 关键词:压电马达非接触
- 声表面波马达
- 2004年
- 给出了超声马达的新进展—声表面波马达。由于其驱动信号是可以由结构简单的叉指电极激发的声表面波,因而克服了一般的超声马达结构复杂,制造困难以及小型化困难等缺点。本文给出了国内外声表面波马达的研究现状,并对其进一步的研究作了探讨。
- 周广华刘景全杨斌黄水华
- 关键词:超声波马达多自由度叉指电极小型化
- 一种新型非对称电极的非接触压电微马达
- 2005年
- 提出一种基于非对称电极驱动的非接触压电微马达.圆盘型压电陶瓷作为激励源以产生周向行波.研究了该电极激励行波的条件.根据理论分析,设计了马达样机进,行了实验,并比较了对称电极和非对称电极两种情况下转子转速与频率的关系,得知非对称电极驱动明显提高了压电微马达的转速.
- 杨斌刘景全陈迪蔡炳初
- 关键词:非接触微马达
- 圆盘型非接触超声波马达定子的振动模拟与测试
- 2005年
- 介绍一种圆盘型非接触超声波马达的结构。利用有限元法计算了超声波马达定子在不同振动模态下的固有频率,并用激光测振仪对定子进行了测试,结果两者吻合较好。由于振幅和非接触马达的声辐射压力密切相关,因此通过谐响应分析计算了定子的振幅与定子驱动电压的关系,从而为马达的实验研究提供了理论依据。在最优模态B21下进行转子转速测试,测得最高转速为1600 rpm。
- 杨斌刘景全周广华陈迪方华斌蔡炳初
- 关键词:有限元模拟振型振幅
- 圆盘型非接触超声波马达定子的有限元分析被引量:2
- 2006年
- 阐述一种圆盘型非接触超声波马达的结构。利用振动理论和有限元法分析计算了超声波马达定子在不同振动模态下的固有频率,并讨论了定子的内、外径比和厚度对其影响。结果两者吻合较好。由于振幅和非接触马达的运行密切相关,因此利用有限元计算了定子的振动幅度与定子的内、外径比、厚度和定子所加电压的关系,从而为马达定子的设计和优化提供了理论依据。
- 杨斌刘景全周广华陈迪方华斌蔡炳初
- 关键词:超声波电机有限元分析振动模态固有频率振幅
- Experimental study of noncontact ultrasonic motor with non-symmetrical electrode
- 2006年
- 杨斌刘景全陈迪周伟民蔡炳初
- 关键词:行波压电性