国家高技术研究发展计划(2008AA04Z311)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 相关作者：车录锋戈肖鸿宋朝辉肖育华李伟更多>>
- 相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程机械工程更多>>
- 基于Si塑性变形的二维驱动器的设计
- 2011年
- 设计并制作了一种新型的基于Si塑性变形的二维驱动器,驱动器由外围垂直驱动和内部水平驱动两部分组成。驱动器的制作采用普通Si片Si-Si键合技术,首先在结构片正面制作出绝缘填充槽,以实现垂直驱动部分和水平驱动部分的电绝缘,然后利用DR IE干法刻蚀技术释放结构,最后通过Si的塑性变形工艺使驱动器外围垂直驱动部分的可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出二维梳齿驱动器。经测量,驱动器垂直驱动部分可动梳齿和固定梳齿的位错量为19.8μm。
- 陈琳李伟戈肖鸿车录锋
- 关键词：塑性变形
- 基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器被引量：2
- 2011年
- 设计了基于硅塑性变形的垂直梳齿驱动器,中央可动微镜由四组蛇形曲折梁支撑。驱动器的制作采用硅—硅键合技术,首先利用DRIE干法刻蚀技术释放可动梳齿与固定梳齿,然后通过各向异性湿法腐蚀制作的施压凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,最后利用硅塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出在Z方向依靠位错梳齿实现垂直驱动的蛇形梁静电梳齿驱动器。
- 肖育华宋朝辉戈肖鸿车录锋
- 关键词：塑性变形
