山东省教育厅科技计划项目(J08LI13)
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 相关作者：王长征张栋何英更多>>
- 相关机构：聊城大学更多>>
- 发文基金：山东省教育厅科技计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 生长温度对ZnO薄膜晶体质量和发光特性的影响被引量：2
- 2009年
- 采用激光脉冲沉积法在Si(100)衬底上生长ZnO薄膜,衬底温度分别为室温,200℃,300℃,400℃和500℃。用X射线衍射仪、拉曼光谱、扫描电子显微镜对薄膜的微结构进行了测量,并测量了室温下薄膜的光致发光特性。结果表明,300℃时,ZnO具有最佳择优取向,随着衬底温度升高,衍射峰半峰全宽减小,薄膜晶粒尺寸增大,400℃时,薄膜具有各向等大的晶粒尺寸。同时拉曼谱结果显示,薄膜内部的缺陷随衬底温度变化无明显差别,应力表现为张应力,400℃时应力最小,紫外发光峰在衬底温度为400℃时最强,而黄绿光带最弱。在减少薄膜缺陷,提高择优长向和晶粒尺寸的同时,使晶粒横向尺寸和纵向尺寸尽可能相同,可极大提高薄膜的发光特性。
- 张栋王长征何英
- 关键词：薄膜光学ZNO薄膜光致发光谱衬底温度
