美国国家自然科学基金(0302449)
- 作品数：5 被引量：5H指数：1
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- 相关机构：清华大学华中科技大学更多>>
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- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 片上射频磁介质电感的设计与仿真被引量：1
- 2006年
- 片上无源电感是RFIC中需求很高的器件.将适宜的磁材料引入到射频微电感中,既可有效地提升电感L值,从而使电感所需面积减小,又能保持甚或提升电感Q值,是实现高性能、小尺寸射频微电感的一种非常有前景的方法.我们设计了不同结构的磁介质微电感,通过软件仿真研究了电感结构和材料参数变化对电感性能的影响,为研制小尺寸、高性能片上磁介质电感提供了理论指导.
- 张帆杨晨刘锋任天令刘理天
- 关键词：片上电感射频集成电路铁氧体
- “Ni-Zn铁氧体颗粒-光刻胶”覆盖的片上射频电感被引量：1
- 2008年
- 本文报道了采用新型“纳米颗粒-光刻胶”混合旋涂技术制作的片上射频Ni-Zn铁氧体磁膜微电感。成相良好的Ni0.3Zn0.6Cu0.1Fe2O4铁氧体纳米颗粒在光刻胶中均匀混合,再将该混合物涂覆在螺旋电感线圈上,实现电感性能的提升。这种新型低温工艺避免了常规制作铁氧体器件方法带来的高温处理（〉600°C）对集成电路的破坏。与无磁膜覆盖样品对比,铁氧体覆盖电感的电感量在0.1～4GHz提升了14～27%。这是实现高性能、全兼容铁氧体集成片上RFIC电感的一种很有前景的途径。
- 杨晨刘锋任天令刘理天Albert Wang岳振星
- 关键词：铁氧体电感射频集成电路
- 硅基CoZrO铁氧体磁膜结构RF集成微电感被引量：3
- 2005年
- 制作了一种新型磁膜结构射频集成微电感.该电感使用溶胶-凝胶法制备的CoZrO铁氧体作为磁性薄膜;采用平面单匝形式的金属线圈,从而形成“SiO2绝缘层/磁膜层(CoZrO)/SiO2绝缘层/Cu线圈”的结构,具有结构简单、制作工艺与常规集成工艺兼容等特点.同时,采用相同工艺同批制作了无磁膜微电感作为对比样品,并取各项结构参数与磁膜电感相一致.测试结果表明,2GHz处,磁膜结构微电感的感值(L)为1·75nH、品质因数(Q)为18·5,与无磁膜微电感相比,L和Q的值分别提高了25%和23%.
- 杨晨刘锋任天令刘理天冯海刚王自惠龙海波于军
- 关键词：射频集成
- 铁氧体磁膜RF集成微电感等效电路分析(英文)被引量：1
- 2006年
- 针对已制作并发表的一种新型铁氧体磁膜结构射频集成微电感进行了等效电路分析.阐述了磁性铁氧体薄膜对电感的感值(L)和品质因数(Q)的增强作用.对射频测试结果进行了电路元件参数提取.结果表明,与空气芯无磁膜微电感相比,磁膜结构微电感的L和Q在2GHz处分别提高了17 %和40 %.等效电路分析和测试结果均证明了铁氧体薄膜的引入对增强射频集成微电感性能的作用显著.
- 任天令杨晨刘锋刘理天王自惠张筱
- 关键词：电感等效电路铁氧体薄膜射频集成电路
- 面向RFIC的片上铁氧体磁膜电感被引量：1
- 2006年
- 采用集成工艺制作了片上铁氧体磁膜(Ni0.4Zn0.4Cu0.2Fe2O4,Y2.8Bi0.2Fe5O12和Co7ZrO9)射频微电感.铁氧体薄膜采用溶胶凝胶法制作,高频特性较好,适于片上电感的应用.对电感样品进行了测试和等效电路分析,结果表明,与无磁膜结构相对比,铁氧体磁膜电感显著增强了电感性能,是一种实现小尺寸、高性能片上RFIC电感的很有前景的途径.
- 杨晨刘锋任天令刘理天
- 关键词：铁氧体薄膜电感射频集成电路
