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国家高技术研究发展计划(2002AA430020)

作品数：2 被引量：9H指数：2
相关作者：郝一龙张嵘贾玉斌更多>>
相关机构：北京大学清华大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划武器装备预研基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程

主题

  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 1篇英文
  • 1篇体硅
  • 1篇体硅工艺
  • 1篇漂移
  • 1篇频率漂移
  • 1篇微机械加速度...
  • 1篇谐振
  • 1篇硅工艺
  • 1篇硅
  • 1篇MEMS加速...

机构

  • 2篇北京大学
  • 1篇清华大学

作者

  • 2篇贾玉斌
  • 2篇张嵘
  • 2篇郝一龙

传媒

  • 1篇光学精密工程
  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2004
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种新型谐振加速度计被引量：3
2004年
描述了一种新的谐振加速度计,这种加速度计由1个质量块、2个谐振音叉和一套由锚点支撑的弯曲杠杆系统组成.在加速度的作用下,一个音叉受到轴向拉力的作用频率变大;另一个音叉受到轴向压力的作用频率变小.杠杆系统放大了由加速度引起的轴向力,使加速度灵敏度提高.这种加速度计可以用微机械体硅工艺来制作.实验研制的加速度计灵敏度为27.3 Hz/g,分辨率为167.8μg.
贾玉斌郝一龙张嵘
关键词：微机械加速度计
一种新型体硅谐振加速度计(英文)被引量：6
2005年
设计了一种谐振加速度计 .这种加速度计包括两个双端固定音叉、一个质量块、四套放大惯性力的杠杆系统以及激励和敏感梳 .利用梳状电极每个音叉被静电激励和敏感 .利用MEMS体硅工艺研制了这种新型加速度计 ,测试的灵敏度为 2 7 3Hz/ g ,分辨率为 16 7 8μg .
贾玉斌郝一龙张嵘
关键词：MEMS加速度计体硅工艺频率漂移
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