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山东省自然科学基金(F11093)
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相关作者:
谢广文
赵程
李世直
彭红瑞
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青岛化工学院
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沉积电压对辅助加热PCVD-TiN涂层的影响
2000年
研究了不同的沉积电压对辅助加热式PCVD -TiN涂层的影响。实验证明 ,提高沉积电压可以细化TiN涂层的柱状晶结构 ,增加TiN涂层的显微硬度和沉积速率。在试验范围内 。
赵程
彭红瑞
谢广文
李世直
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PCVD
沉积电压
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