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国家重点基础研究发展计划(2006CB300-407)

作品数:2 被引量:13H指数:2
相关作者:王辉静陈士荣倪林梅涛单建华更多>>
相关机构:深圳信息职业技术学院中国科学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:生物学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇生物学
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 2篇壁虎
  • 1篇粘附
  • 1篇粘附性能
  • 1篇微机电系统
  • 1篇纳米
  • 1篇机电系统
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇深圳信息职业...

作者

  • 2篇王辉静
  • 1篇单建华
  • 1篇梅涛
  • 1篇倪林
  • 1篇陈士荣

传媒

  • 2篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2006
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
仿壁虎微纳米粘附阵列的工艺制作被引量:7
2006年
介绍了采用微纳米加工技术制作仿壁虎脚趾粘附阵列的工艺方法。用ICP设备制作具有微米孔阵列的硅模板,用聚合物浇注,脱模后得到直径分别为2μm和5μm的微米阵列;浇注具有纳米孔径的氧化铝模板,脱模后得到直径约100nm的柔性纳米阵列。
陈士荣梅涛倪林单建华王辉静
仿壁虎微米阵列的加工及其粘附作用分析被引量:9
2008年
简要阐述了以MEMS加工技术制备柔性仿壁虎微米阵列的方法,进行实验装置以及实验方法的设计,利用所设计的粘附力测量装置,观测具有不同几何参数的微米阵列样本在不同条件下的粘附效果。主要比较了微米纤毛长度不同、其他几何参数相同的阵列样本与接触表面间的粘附效果;不同面积的阵列样本与接触表面间的粘附效果;微米阵列与不同材料接触表面间的粘附效果。对实验结果进行了讨论分析,得出三点实验结论。目的是通过实验现象,研究和发现人工合成阵列的接触粘附机理,进行合理的参数设计,从而加工出高性能仿壁虎粘附阵列。
王辉静
关键词:微机电系统粘附性能
共1页<1>
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