国家重点基础研究发展计划(2006CB300-407)
- 作品数:2 被引量:13H指数:2
- 相关作者:王辉静陈士荣倪林梅涛单建华更多>>
- 相关机构:深圳信息职业技术学院中国科学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:生物学一般工业技术更多>>
- 仿壁虎微纳米粘附阵列的工艺制作被引量:7
- 2006年
- 介绍了采用微纳米加工技术制作仿壁虎脚趾粘附阵列的工艺方法。用ICP设备制作具有微米孔阵列的硅模板,用聚合物浇注,脱模后得到直径分别为2μm和5μm的微米阵列;浇注具有纳米孔径的氧化铝模板,脱模后得到直径约100nm的柔性纳米阵列。
- 陈士荣梅涛倪林单建华王辉静
- 仿壁虎微米阵列的加工及其粘附作用分析被引量:9
- 2008年
- 简要阐述了以MEMS加工技术制备柔性仿壁虎微米阵列的方法,进行实验装置以及实验方法的设计,利用所设计的粘附力测量装置,观测具有不同几何参数的微米阵列样本在不同条件下的粘附效果。主要比较了微米纤毛长度不同、其他几何参数相同的阵列样本与接触表面间的粘附效果;不同面积的阵列样本与接触表面间的粘附效果;微米阵列与不同材料接触表面间的粘附效果。对实验结果进行了讨论分析,得出三点实验结论。目的是通过实验现象,研究和发现人工合成阵列的接触粘附机理,进行合理的参数设计,从而加工出高性能仿壁虎粘附阵列。
- 王辉静
- 关键词:微机电系统粘附性能