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国家自然科学基金(11005076)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
罗洁
李鑫
任丁
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相关机构:
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任丁
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罗洁
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2018
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电化学湿法腐蚀法制备硅微柱阵列
被引量:2
2018年
采用TMAH (Tetramethyl Ammonium Hydroxide)腐蚀液在P(100)硅片上制备倒棱台,进而采用电化学湿法刻蚀法制备具有微柱结构的阵列器件。借鉴N型多孔硅的形成理论,提出了微柱的形成模型,分析了微柱的形成条件,并对其主要的几何结构参数之间的关系进行了探讨。结果表明微柱的形成与倒棱台的结构参数、孔的结构参数以及空间电荷区等因素相关。倒棱台的底面尺寸决定了微柱的结构,且倒棱台开口的大小需要大于平均孔径。微柱直径始终小于2倍的空间电荷区宽度。微柱内载流子的耗尽是微柱未被刻蚀的主要原因。
李鑫
罗洁
任丁
关键词:
无机非金属材料
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