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国家自然科学基金(无)

作品数：1 被引量：24H指数：1
相关作者：柳锡运刘正义郭志球沈辉更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇多晶硅绒面
  • 1篇绒面
  • 1篇各向同性

机构

  • 1篇华南理工大学
  • 1篇中山大学

作者

  • 1篇沈辉
  • 1篇郭志球
  • 1篇刘正义
  • 1篇柳锡运

传媒

  • 1篇材料科学与工...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面被引量：24
2007年
本文介绍了一系列利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的试验,腐蚀液为硝酸和氢氟酸的混合溶液,添加了醋酸稀释液是为了降低反应速度。通过优化各种参数,获得了腐蚀速度平缓,适合工业生产的多晶硅绒面,绒面分布均匀。随着反应的进行,腐蚀坑由微裂纹状转变为气泡状,经反射率测定表明绒面达到了较好的减反效果。
郭志球柳锡运沈辉刘正义
关键词：多晶硅
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