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国家教育部博士点基金(30103704120003)
作品数:
1
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相关作者:
刘枚
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2012
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LMBE法异质外延β-Ga_2O_3薄膜及其紫外和发光特性的研究
被引量:3
2012年
采用激光分子束外延法在蓝宝石衬底上异质外延β-Ga2O3薄膜。研究了氧分压对薄膜表面结构和结晶程度的影响,结果表明β-Ga2O3薄膜的均方根粗糙度和X射线衍射谱峰的半高宽随着氧分压的减小呈现先减小后增大的趋势。并对氧分压为10-2 Pa条件下的薄膜进行了光致发光谱、紫外透射谱、禁带宽度变化和拉曼谱的研究,结果显示β-Ga2O3薄膜的带隙随氧分压的减小而不断增大,β-Ga2O3薄膜具有蓝光发光和深紫外高透射特性,是用于光电器件特别是紫外特性氧敏传感器的最佳材料之一。
郭进进
刘爱华
满宝元
刘枚
姜守振
侯娟
孔德敏
关键词:
氧分压
光致发光
禁带宽度
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