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上海市科学技术发展基金(0359nm004)
作品数:
1
被引量:1
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相关作者:
张苗
王石冶
刘卫丽
宋志棠
林成鲁
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相关机构:
中国科学院
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上海市科学技术发展基金
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林成鲁
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张苗
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年份
2篇
2004
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SOI在高压器件中的应用
综述了绝缘层上的硅(SOI)材料在高压器件中的应用,分析了SOI高压器件的不同结构,并对现在最常用的RESURF LDMOS高压器件结构,以及不同器件参数对击穿电压的影响进行了分析和讨论。
王石冶
刘卫丽
张苗
林成鲁
宋志棠
关键词:
SOI
高压器
击穿电压
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SOI在高压器件中的应用
被引量:1
2004年
综述了绝缘层上的硅(SOI)材料在高压器件中的应用,分析了SOI高压器件的不同结构,并对现在最常用的RESURF LDMOS高压器件结构,以及不同器件参数对击穿电压的影响进行了分析和讨论.
王石冶
刘卫丽
张苗
林成鲁
宋志棠
关键词:
SOI
高压器
击穿电压
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