表面工程技术重点实验室基金(9140C540301110C5402)
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
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- 相关机构：兰州空间技术物理研究所更多>>
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- 氮氧化铪薄膜力学与光学特性研究
- 2014年
- 氮氧化铪薄膜透射率高,带隙宽,机械性能好,是一种较好的窗口保护薄膜。采用离子束辅助反应蒸发的方法沉积具有高透射率的多光谱氮氧化铪薄膜,通过控制沉积速率改变膜层中N、O化学计量比,研究氮氧化铪中N、O化学计量比不同对薄膜力学和光学性能的影响规律。随着沉积速率从0.8减小到0.05 nm/s,氮含量增高,薄膜的硬度从7.29增大到10.67 GPa,氮氧化铪薄膜的折射率从1.95降低到1.80,而消光系数从1×10-3增大到8×10-3,禁带宽度从5.62减小到5.5eV。
- 董茂进王多书熊玉卿王济洲李晨张玲
- 关键词：力学特性光学特性
- 多光谱氮氧化铪薄膜光学特性研究被引量：2
- 2013年
- 采用离子束辅助反应蒸发的方法沉积3-5 μm和7-10 μm具有高透射率的多光谱氮氧化铪薄膜，通过控制沉积速率改变膜层中N、O化学计量比，从而研究氮氧化铪中N、O化学计量比不同对薄膜光学性能的影响规律。随着沉积速率从0.8 nm/s减小到0.05 nm/s，氮氧化铪薄膜的折射率从1.95降低到1.80，而消光系数从1×10^-3增大到8×10^-3，禁带宽度从5.62 eV减小到5.5 eV。在多光谱硫化锌基片上镀制增透膜和氮氧化铪薄膜后测试光谱曲线，3.0-5.0 μm波段的透射率为82.16%，7.0-10.0 μm波段的透射率为82.84%，结果表明，氮氧化铪薄膜在中波和长波红外区域具有高的透射率。
- 董茂进王多书熊玉卿王济洲李晨张玲
- 关键词：光学特性多光谱
- 新型双通道日夜滤光片的设计与镀制被引量：1
- 2013年
- 红外相机和监控系统在日夜成像时使用日夜滤光片代替红外截止滤光片,以保证白天成像无色差,同时晚上能成黑白像。本文采用Essential Macleod软件设计新型双通道日夜滤光片光谱。光谱中440~640 nm的平均透射率大于90%,650~1100 nm波段截止,红外截止区域在940 nm存在带通,其平均透过率小于20%,带宽小于40 nm。采用离子束辅助电子束蒸发的方法,通过优化工艺参数、减小膜层误差,制备得到满足设计要求的K9玻璃基底双通道日夜滤光片。
- 董茂进陈焘熊玉卿王多书王济洲王超
- 关键词：薄膜光学滤光片离子束辅助沉积
