江苏省自然科学基金(BK2008197)
- 作品数：20 被引量：52H指数：5
- 相关作者：周海卓志国臧跃徐晓明陈西府更多>>
- 相关机构：盐城工学院江苏大学常州大学更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金江苏省高校科研成果产业化推进项目江苏省“青蓝工程”基金更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺电子电信理学更多>>
- 蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤双片式角度抛光法检测被引量：6
- 2014年
- 针对传统角度抛光法检测的不足,提出将双片式角度抛光法用于蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤层深度的检测。双片式角度抛光法采用双晶片重合黏结的实验晶片组测量抛光斜面腐蚀裂纹,避免了传统角度抛光法因抛光斜面和原晶片平面分界边缘难以辨别而造成的测量误差;使用数显测长仪对实验晶片组抛光斜面加工轮廓进行测量,测量结果代入相应计算公式得出准确的斜面倾角,消除角度取值不准确带来的方法误差,提高了测量精度。经检测得到,单晶面抛光斜面平均裂纹宽度约为175μm、平均斜面倾角为4.91°,双面研磨单晶面亚表面损伤层深度约为15μm,双晶面亚表面损伤层深度约为30μm。双面研磨工艺参数:研磨液采用320#碳化硼磨粒煤油溶液,研磨初始压力为30g/cm2,研磨终止压力为110g/cm2,研磨盘转速为13r/min。
- 徐晓明刘道标周海卓志国臧跃
- 关键词：蓝宝石双面研磨
- 飞轮挤压成型过程有限元仿真分析
- 2016年
- 挤压成型是飞轮的一种新型加工方法,不仅加工效率高、成本低,而且可以有效提高飞轮的机械性能。为了分析挤压成型过程,在ANSYS软件中建立了飞轮挤压的二维轴对称模型,对成型过程中飞轮的等效应力、塑性应变和接触压力进行分析。结果表明:挤压过程中,飞轮的等效应力和塑性应变呈对称分布且在内侧中点附近最大、外侧中点附近次之、上下表面附近最小,等效应力和塑性应变是增大的。挤压成型后,飞轮与模具间存在连续不断的接触应力,飞轮的轮廓是完整的;飞轮外缘右上侧存在一定的挤压间隙且间隙值小于零,在该区域铝合金材料受到过度挤压,可适当改变模具的结构、尺寸或者进一步采用磨削等方法提高飞轮的精度。
- 姚小强
- 关键词：飞轮ANSYS
- 衬底基片表面加工变形问题研究被引量：2
- 2009年
- 在分析衬底基片加工工艺和衬底基片加工试验的基础上,得出导致衬底基片表面变形的因素有:支承盘精度、粘片的方法、衬底基片的表层应力、抛光垫的材质。提出采用较高刚度和硬度的陶瓷支承盘和及时修整,使支承盘保持较高的表面形状精度。采用真空粘片,使衬底基片紧密贴合支承盘。通过双面研磨、双面抛光以及基片表面处理使得衬底基片两面应力一致。根据不同的衬底基片选择硬度适当的抛光垫,从而有效解决衬底基片表面加工变形问题。实现了衬底基片平面度小于5μm。
- 周海王黛萍陈西府
- 关键词：化学机械抛光抛光垫
- 响应面的移动最小二乘法结构可靠性计算被引量：2
- 2013年
- 针对目前在结构可靠性计算中被广泛应用的传统响应面法存在计算量大,精确度不高,容易产生奇异解,必须知道功能函数才能计算等问题。首先根据最小二乘原理,在只需知道设计验算点对应的功能函数值的情况下,利用权函数的紧支性、非负性、光滑性、递减性等性质,在影响域内应用选取的设计验算点,提出了用移动最小二乘法通过迭代生成响应面函数,然后结合一阶可靠性方法,计算结构的最大失效点与可靠性指标。通过反复迭代,直到计算的相邻两次的可靠性指标满足所给的误差为止。给出了切实可行的算法,该算法不需要知道功能函数,甚至不需要知道功能函数的类型就可以进行计算。算例表明,文中方法以较少的迭代次数,可以获取高精度的最大失效点与可靠性指标。
- 王正刚
- 关键词：移动最小二乘法响应面函数可靠性
- 基于UG的蓝宝石衬底基片双面研磨轨迹研究被引量：1
- 2012年
- 通过数学理论建模与UG建模,建立了蓝宝石衬底基片双面研磨的运动模型并获得了在三种传动比情况下行星齿轮上不同点的轨迹。通过分析研磨轨迹和研磨速度可知在传动比为1时行星齿轮各点的轨迹为均匀分布的圆形且速度相等,所有点的运动周期相等而且比其它情况下的周期短,有利于提高研磨效率和形状精度,结果成功地解决了由于行星齿轮内的衬底基片各点处速度不一样而导致的平面度差的问题和行星齿轮中心不能放置蓝宝石衬底基片的问题。
- 白立刚周海王鹏章超
- 蓝宝石衬底化学机械抛光中材料去除特性的研究被引量：5
- 2014年
- 衬底基片的化学机械抛光(CMP)同时兼顾材料去除率及衬底表面质量,在抛光过程中,化学作用与机械作用相辅相成同时参与抛光,化学作用与机械作用的平衡对能否得到满意的衬底表面有重要有意义。针对蓝宝石衬底基片的CMP材料去除率进行了研究,分析了材料去除机理。使用单因素实验法测得:压力的增加会导致材料去除率的增加,但当压力增加到某一点后,材料去除率的增加反而减缓,与此同时衬底基片表面粗糙度达到最小。这一点附近的抛光参数可以达到机械与化学作用的平衡。在实验中,当抛光压力为6kg时材料去除率达到80nm/min,表面粗糙度达到0.2nm。
- 高翔周海黄传锦冯欢崔志翔
- 关键词：蓝宝石衬底CMP材料去除率
- 多级随机载荷作用下机械零件动态疲劳可靠性模型被引量：2
- 2014年
- 针对机械零件承受的多级随机载荷,首先运用等强度退化量原理推导出多级随机载荷下的机械零件剩余强度模型,由此公式利用矩法得到剩余强度在随机载荷循环下的均值和方差。然后,利用得到的剩余强度均值和方差,基于满足正态分布的假设,根据一次二阶矩法计算出机械零件的动态疲劳可靠度。最后,通过算例说明了本文方法的可行性,实用性和有效性。
- 王正刚
- 关键词：随机载荷可靠性
- 蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤分布研究被引量：6
- 2014年
- 在前人对硬脆性材料亚表面损伤预测理论研究的基础上,建立了蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤层深度与表面划痕深度之间的理论模型（DNR）。通过对双面研磨后的衬底晶片进行KOH轻度化学腐蚀并结合VK-X100/X200形状测量激光显微系统,得到了晶片表面划痕随深度的分布情况,进而得出了晶片亚表面损伤层随深度的分布情况。研究表明：亚表面损伤层随深度变化的分布规律为随着深度的增大呈递减趋势,集中分布在距离外层碎裂及划痕破坏层下方0～12.9μm深度范围内,所占比例达96.7%左右。研究结果有利于优化双面研磨工艺参数来控制亚表面损伤层的深度。
- 刘道标徐晓明周海卓志国臧跃高翔
- 关键词：蓝宝石衬底双面研磨划痕化学腐蚀
- 氧化镓衬底基片化学机械抛光的研究被引量：2
- 2014年
- 针对氧化镓衬底基片的化学机械抛光(CMP)进行了研究。介绍了氧化镓衬底基片的化学机械抛光工艺,讨论了影响抛光结果的因素:p H值、温度、压力、磨粒。通过大量的实验,最终确定了优化方案。提出先以粗抛光去除研磨后产生的划痕、凹坑等表面缺陷,再以精抛光降低表面粗糙度并获得高光洁衬底基片的方案。研究结果表明:在27℃抛光温度,9.0≤p H≤11的条件下,使用粒径为40nm,低分散度的Si O2溶胶磨粒,并加入适量添加剂,配合合理的工艺参数,可以获得具有良好表面质量的氧化镓衬底基片及较高的抛光去除率。
- 高翔周海张清张圆
- 关键词：氧化镓化学机械抛光工艺参数去除率
- 全自动快速脱缆装置的设计
- 2015年
- 全自动快速脱缆装置由机械部分和控制部分组成,控制系统中的传感器时刻检测缆绳中拉力并传递至单片机,经单片机分析处理,实现对机械装置的自动控制;机械装置由采用两级杠杆原理所设计的机构和气动执行机构等组成,实现脱钩和复位等机械动作。实验结果表明:该装置的动作响应时间为0.5s,实际触发拉力误差为±0.1%;装置操作简单,工作快速安全,能实现智能化全自动控制,灵活度高。全自动快速脱缆装置能减轻操作人员的劳动强度,提高工作效率。
- 周海吴春彪张圆冯欢
- 关键词：自动复位
