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国家高技术研究发展计划(2003AA121630)
作品数:
2
被引量:6
H指数:2
相关作者:
马佩军
宋国乡
郝跃
孙晓丽
荆明娥
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相关机构:
西安电子科技大学
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发文基金:
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相关领域:
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机构
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西安电子科技...
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作者
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周电
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郝跃
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宋国乡
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电路与系统学...
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现代电子技术
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1篇
2006
1篇
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基于小波变换的IC缺陷轮廓曲线分形维估计
被引量:3
2006年
硅片表面缺陷轮廓的形状特征对集成电路(IC)成品率预报及故障分析有重要影响。讨论了IC缺陷轮廓所具有的分形特征,利用小波变换对其参数曲线的分形维数进行了估计,估计结果与实际特征相符,从而为缺陷轮廓特征的描述和计算机模拟提供了一条新的途径。
孙晓丽
宋国乡
关键词:
小波变换
集成电路
基于RSM和均匀试验的IC成品率设计方法
被引量:3
2005年
本文给出了一种基于均匀试验设计的响应表面模型,同时得到该模型在VLSI集成电路参数成品率中的优化方法。本方法首先对电路的关键参数进行扫描,确定满足电路基本性能时的参数变化范围。在此范围内,可对电路参数进行以数论方法为基础的均匀试验设计和建立响应表面。对拟合得到的响应表面模型进行CV拟合检验,求出最佳的电路设计值。本方法适用于集成电路的工艺、器件和电路级的模拟。
荆明娥
周电
马晓华
马佩军
郝跃
关键词:
参数成品率
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