湖北省现代制造质量工程重点实验室开放基金(LMQ2005A03)
- 作品数:2 被引量:8H指数:2
- 相关作者:李海华王选择杨练根更多>>
- 相关机构:湖北工业大学华中科技大学更多>>
- 发文基金:湖北省现代制造质量工程重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术更多>>
- 光栅在驱动控制系统运动位移测量中的应用被引量:4
- 2007年
- 利用计量光栅的栅距作为基准刻线,对二维精密工作台的运动位移进行测量,提出了一种新的位移测量方法。通过CCD(charge coupled device)获取光栅刻线图像,对图像进行分析处理,计算出栅距与图像像素之间的映射系数,再通过对工作台移动前后光栅图像的对比,采用基于李萨如图的相位差比率算法获取它们的像素位置差,从而计算出工作台的实际运行位移量。
- 李海华杨练根王选择
- 关键词:光栅驱动控制图像处理
- 一种应用标准刻线与CCD直接获取运动位移的方法被引量:4
- 2007年
- 将标准刻线应用到对微细物体进行高精度定位的交流伺服驱动控制系统中,提出了一种新的直接获取运动位移的方法。调整光路使CCD获取清晰的光栅图像,对图像进行分析处理,计算出栅距与像素之间的映射关系,再对工作台移动前后的光栅图像进行对比,采用基于李萨如图的相位差比率算法获取它们的像素位置差,从而计算出工作台的实际运行位移。试验结果表明,该方法能简单快速地实现微电子加工领域亚像素级的测量。
- 李海华杨练根王选择
- 关键词:光栅图像处理交流伺服