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国家高技术研究发展计划(2009AA701)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：杨雪程勇王淑云陆益敏郭延龙更多>>
相关机构：武汉军械士官学校更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇金刚石膜
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石膜
  • 1篇激光
  • 1篇激光沉积
  • 1篇激光制备
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇武汉军械士官...

作者

  • 1篇郭延龙
  • 1篇陆益敏
  • 1篇王淑云
  • 1篇程勇
  • 1篇杨雪

传媒

  • 1篇光学与光电技...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
激光制备类金刚石膜技术研究被引量：3
2011年
现有技术制备的类金刚石(DLC)膜由于含氢、硬度低、内应力大、附着力差等特点,严重限制了其光学工程应用。激光法是近年发展的一种制备DLC膜的新方法,相比其他制备方法具有诸多优点。综合分析了激光制备DLC膜过程中,激光波长、脉宽、功率密度、衬底温度和偏压等因素对薄膜质量的影响规律。采用氧气氛辅助沉积、元素掺杂和双波长激光复合沉积等关键改进技术,实现了在Si、Ge等基底上激光制备DLC膜光学工程化应用。
程勇王淑云郭延龙杨雪陆益敏
关键词：类金刚石膜激光沉积掺杂
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