国家自然科学基金(61078060)
- 作品数：34 被引量：67H指数：4
- 相关作者：董建峰陈宝钦李杰杨方清陶卫东更多>>
- 相关机构：宁波大学中国科学院微电子研究所湛江师范学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金宁波大学王宽诚幸福基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 一种聚合物分散液晶菲涅尔波带片被引量：2
- 2014年
- 利用波长为800nm,脉宽130fs的飞秒激光在镀铝膜的玻璃基片上刻蚀出波带环图案,然后用溶致相分离法将其制备成聚合物分散液晶菲涅尔波带片.用波长为632nm的He-Ne激光对聚合物分散液晶菲涅尔波带片进行测试,结果表明:随着电压的增加该样品具有良好的光电可控性,可以实现对焦点光强的调控.在沿光轴方向上,测试到的主焦点位置与理论计算值相差小于5%,且聚合物分散液晶菲涅尔波带片在160V电压时衍射效率为10.4%,接近理论衍射效率12.1%,表明了该设计的可行性.
- 何如双张斌王振宇陶卫东潘雪丰董建峰
- 关键词：波带片液晶理论值激光加工
- 光频段双层手征结构光学特性及负折射率研究被引量：4
- 2014年
- 设计了一种工作在光波段的新型四重对称的双层手征结构,通过数值模拟得到透射系数和反射系数,反演计算了结构的圆二色性、旋光角、手征参数和折射率。结果表明该结构在谐振波长附近具有很强的旋光性,并且在椭偏度为零时,即透射光变成完全线偏振光时,旋光角达到了55°;在一定波段内可以实现左旋圆偏振光(LCP)和右旋圆偏振光(RCP)的负折射率,且不需要介电常数和磁导率同时为负,更重要的是,实现负折射率的左旋圆偏振光(LCP)具有较宽的频带,不局限于谐振波长附近,在椭偏度为零时,折射率也为负。考虑到具体的实验制作,对加衬底的手征结构进行了数值模拟,结果表明谐振波长向长波长方向产生了偏移,完全线性偏振光的旋光角仍然有40°。
- 刘锦景罗孝阳刘道亚董建峰
- 关键词：手征负折射率
- 光轴平行于界面的单轴手征介质中的负折射研究被引量：1
- 2012年
- 研究了光轴平行于界面时单轴各向异性手征介质中实现负折射的条件,并详细分析了该介质中两个本征波在不同电磁参数和手征参数下折射角随入射角的变化规律.结果表明,利用单轴各向异性手征介质实现负折射,条件更加宽松,甚至在弱的手征参数下也可能实现负折射,且在不同的介电常数、手征参数和入射角下,该手征介质中两个本征波的相折射角存在很大的差异,在特殊条件下,某一个或两个本征波不能在介质内传播.
- 李杰董建峰
- 关键词：负折射折射角
- 小区域腐蚀的长周期光纤光栅迈克耳孙干涉仪传感特性研究被引量：2
- 2014年
- 基于尾纤端面镀金属反膜的单根长周期光纤光栅,提出了一种包层部分腐蚀的长周期光纤光栅迈克耳孙干涉仪结构,提高了长周期光纤光栅(LPFG)的灵敏度。应用干涉原理,得出了长周期光纤光栅迈克耳孙干涉仪干涉波峰随外界环境折射率的变化关系。并从实验上对腐蚀前的长周期光纤光栅迈克耳孙干涉仪和带腐蚀结构的长周期光纤光栅迈克耳孙干涉仪的折射率传感灵敏度进行对比。结果表明,包层部分腐蚀的长周期光纤光栅迈克耳孙干涉仪反射谱中的干涉峰值对折射率传感的灵敏度得到了显著的提高,对于折射率为1.333和1.352的液体,干涉峰值的移动量从0.9 nm增加到3.4 nm。
- 何如双张斌陶卫东颜飞彪段天臣董建峰
- 关键词：光纤光学长周期光纤光栅传感灵敏度
- 超介质电磁隐身斗篷的研究进展被引量：1
- 2012年
- 超介质(Metamaterials)是近年迅速发展起来的能够获得任意介电常数和磁导率进而调控电磁波传播的新颖介质。介绍了基于坐标变换的电磁隐身斗篷的基本理论,综述了超介质电磁隐身斗篷的研究进展,包括"封闭式"隐身斗篷、外隐身斗篷、隐身地毯等几种不同的隐身斗篷,这些隐身斗篷都具有良好的隐身效果,在隐身技术方面,尤其是在军事方面具有非常重要的应用价值。
- 王战董建峰
- 关键词：隐身斗篷电磁散射
- 新型抗蚀剂的电子束曝光性能研究被引量：1
- 2013年
- 为了满足越来越多的特殊结构纳米电子器件的制作要求,亟需进一步提高电子束光刻的分辨率与质量,选择适合的高分辨率电子束抗蚀剂材料显得尤为重要。从曝光剂量以及显影与烘烤过程中具体工艺条件的影响等方面对三种新型抗蚀剂材料HSQ,Calixarene和ARN7520进行了电子束曝光性能的研究,同时也对三者的优缺点进行了讨论。通过实验可知,三种新型抗蚀剂均有小于50 nm的高曝光分辨率。HSQ与衬底有更好的附着力,具有较高的机械强度和对比度,在小面积密集图形的制作中具有较好的性能。而ARN7520具有较高的灵敏度,受电子束邻近效应的影响较小,更适合复杂版图的制作。Calixarene虽然也具有较高的曝光分辨率,但过低的灵敏度严重限制了其实用性。
- 赵珉朱齐媛陈宝钦牛洁斌
- 关键词：电子束光刻抗蚀剂高分辨率灵敏度对比度
- 旋转共轭希腊十字型手征结构特性研究被引量：2
- 2011年
- 提出了一种新型的纳米级旋转共轭希腊十字型手征结构,并对该结构上下两层希腊十字的旋转角度进行了优化;数值模拟了该结构对不同频率入射波的透射和反射响应,发现透射谱在频率为145和300THz处存在两个明显的谐振点。通过对透射反射谱的反演,计算了结构的圆二色性、旋光角,得出该结构在谐振频率附近具有很强的旋光性,最大旋光角达到了95°。分析了折射率、相对介电常数、相对磁导率和手征参数,发现这一结构在谐振频率附近分别实现了左旋圆极化波和右旋圆极化波的负折射率,且进一步证明了手征结构实现负折射率的主要原因是大的手征参数。
- 杨方清李杰王战董建峰
- 关键词：手征旋光性圆二色性负折射率
- 复杂形貌亚波长阵列的周期长度测量研究被引量：2
- 2013年
- 设计并建立了一套基于光纤光谱仪的光学测试系统,将由电子束光刻技术制备的一组具有手征结构形貌的二维周期阵列结构作为样品,其由扫描电镜(SEM)测量得到的周期长度分别约为520、570及790nm。测试并研究了二维手征周期结构在白光垂直入射条件下光谱随衍射角的变化规律,以及将衍射光学方法用于复杂形貌的亚波长二维阵列的周期长度测量效果。结果表明,随着衍射角增加,所有样品的衍射波长均向长波偏移;在同一衍射角下,样品的衍射波长与其周期结构具有对应关系。利用正交光栅衍射方程,模拟了白光在垂直入射条件下的衍射光谱变化,以此推算样品的周期尺寸与SEM测得的数据相差小于3%,获得了良好的效果,表明了一般正交光栅衍射方程在复杂形貌结构中的适用性。
- 张斌徐荣祥王培卿潘雪丰陶卫东董建峰陈宝钦
- 关键词：光学测量
- 复杂掩模图数据处理与转换的研究被引量：3
- 2012年
- 将数字图像处理理论和算法引入到掩模版图数据处理与转换系统中,开发了相应的数据处理与转换软件模块。实现了bmp图像文件的输入、图像的灰度量化、对比度拉伸、反转、边缘检测、多边形近似及版图文件的输出。实验结果证明,该软件能将含有较复杂图形的bmp文件成功地转换为GDSII版图文件。
- 赵珉汤跃科陈宝钦李金儒胡勇
- 关键词：图像处理数据转换BMP文件
- 左手材料在天线中的应用研究进展被引量：6
- 2011年
- 从理论上解释了左手材料用于天线设计时实现天线高指向性、高效率、小型化以及大扫描范围的原因,重点介绍了基于金属谐振结构和复合左/右手传输线(CRLH TL)结构的左手材料用于天线设计时的研究进展,指出金属谐振结构在提高天线方向性、增大天线增益、减小天线体积等方面具有很大优势,CRLH TL结构在提高天线带宽、增加天线频带、增大漏波天线扫描范围等方面具有潜在的应用价值。
- 李杰杨方清董建峰
- 关键词：左手材料天线
