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辽宁省教育厅科技攻关项目(05L314)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：王志坚陈达巴德纯闻立时沈辉更多>>
相关机构：东北大学中山大学沈阳航空工业学院更多>>
发文基金：辽宁省自然科学基金辽宁省教育厅科技攻关项目更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇直流反应磁控...
  • 1篇溅射
  • 1篇反射率
  • 1篇反应磁控溅射
  • 1篇TIO
  • 1篇XN
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇Y

机构

  • 1篇东北大学
  • 1篇沈阳航空工业...
  • 1篇中山大学
  • 1篇中国科学院金...

作者

  • 1篇王贺权
  • 1篇沈辉
  • 1篇闻立时
  • 1篇巴德纯
  • 1篇陈达
  • 1篇王志坚

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
双层TiO_xN_y光谱选择性吸收薄膜特性的研究被引量：4
2008年
应用直流反应磁控溅射设备在铜基底上制备双层TiOxNy选择性吸收薄膜。当第一层薄膜的制备参数不变时,研究了第二层薄膜中N2流量参数对双层薄膜反射率的影响。结果表明,当第二层薄膜氧氮比为1∶1时具有较好的光谱选择吸收特性,并测试了该样品的太阳吸收率和发射率分别αs=0.920、ε=0.03。
王贺权王志坚巴德纯沈辉陈达闻立时
关键词：直流反应磁控溅射反射率
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