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广西师范学院教师前期基础研究基金(2010)
作品数:
1
被引量:1
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相关作者:
蒙庆华
樊东鑫
李一凡
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广西师范学院
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广西师范学院教师前期基础研究基金
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2010
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MEMS技术发展及其在生物芯片中的应用概述
被引量:1
2010年
介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用,并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展望。MEMS的发展极大地推动了生物芯片的发展,建议对MEMS在生物芯片中的应用进行更加系统深入的研究。
蒙庆华
李一凡
樊东鑫
关键词:
微机电系统
微电子技术
生物芯片
传感器
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