国家教育部博士点基金(20110092120035)
- 作品数：2 被引量：8H指数：1
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- 不同掺Ag含量下高温(800℃)沉积CrN/Ag涂层的组织结构及其性能被引量：8
- 2013年
- 为研究高温下掺入Ag的CrN涂层的组织性能,在沉积温度为800℃的条件下采用直流反应磁控溅射技术制备CrN/Ag硬质涂层。采用扫描电镜(SEM)、EDS能谱仪、X射线衍射(XRD)和维氏硬度计,综合分析了800℃沉积温度下,对不同Ag掺杂情况下CrN/Ag涂层的组织结构和性能特点,以及700℃热处理工艺对其的影响。结果表明,Ag添加导致CrN晶相生长由(200)择优取向向无择优取向转变,并使得CrN/Ag涂层表面粗糙化;少量Ag(7%(原子分数))添加可提高涂层硬度,过多Ag(21%(原子分数))添加明显降低涂层硬度;高温热处理(700℃/1h)后,纯CrN涂层的氧化并不明显,但是,随Ag含量增加,涂层氧化程度逐渐增加,且在高Ag(21%(原子分数))涂层中Ag溢出现象显著;涂层氧化及Ag溢出导致涂层硬度显著降低。
- 张旭海巫亮曾宇乔李凡徐笑李想武小冕蒋建清
- 关键词：CRN磁控溅射
- 基于三元镶嵌靶的反应溅射沉积涂层成分模拟计算
- 2014年
- 成分的有效控制是多元涂层材料研究和应用中的重点和难点。在反应溅射沉积Berg模型基础上建立了多元镶嵌靶溅射沉积涂层的成分模拟方法,以Ti、Al和石墨三元镶嵌靶为例,模拟了靶材石墨含量及N2分压对TiAlCN涂层中Ti/Al原子比、C含量和N含量的影响,并对引起成分变化的内在原因进行了探讨。
- 张旭海曾宇乔蒋建清
- 关键词：反应溅射
