江西省自然科学基金(2010GQW0047)
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 相关作者：徐鹏赖珍荃范定环王震东张军更多>>
- 相关机构：南昌大学中国科学院更多>>
- 发文基金：江西省自然科学基金江西省教育厅科学技术研究项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 高择优取向Mo薄膜的直流磁控溅射制备及其电学性能被引量：5
- 2011年
- 使用直流磁控溅射法在玻璃基底上沉积Mo薄膜,采用X射线衍射仪、原子力显微镜和四探针测试系统研究了溅射工艺对Mo薄膜的结构、形貌和电学性能的影响.结果表明:当基片温度为150℃时,薄膜获得(211)晶面择优取向生长,而在低于250℃的其它温度条件下,样品则表现为(110)晶面择优取向生长.进一步的表面形貌分析显示:薄膜的粗糙度随基片温度变化不明显,其值大约为0.35nm,随溅射功率密度的增大而变大;电学性能方面:随着溅射功率密度的升高,薄膜导电性能迅速增强,电阻率呈现近似指数函数衰减;随着基底温度的升高,薄膜的电阻率先减小后增大,当基底温度为150℃时,薄膜电阻率降低至最小值2.02×10-5Ω.cm.
- 王震东赖珍荃范定环徐鹏
- 关键词：直流磁控溅射MO薄膜电学性能
- 全内反射型三角晶格光子晶体多模波导中的光传播特性被引量：1
- 2011年
- 研究了光波在没有光子带隙的三角晶格型光子晶体多模波导中的传播特性.利用等效折射率法,将该结构等效为三层平板介质波导,基于自映像原理,数值分析和模拟了其多模干涉效应.研究结果表明,由于全内反射和分布式布拉格反射的联合效应,光场类似于传统波导模式,能高效地传输;随着填充率的增大,高透射区域将向波长减小的方向移动,带宽和透射率也随之增加,研究结果为实际应用中选择适当的填充率提供了理论依据.
- 张军于天宝刘念华廖清华何灵娟
- 关键词：全内反射填充率时域有限差分法
