国家自然科学基金(61376052) 作品数:18 被引量:47 H指数:5 相关作者: 邵秀梅 龚海梅 李雪 方家熊 刘大福 更多>> 相关机构: 中国科学院 中国科学院大学 山东大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家重点基础研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 机械工程 理学 一般工业技术 更多>>
双波段芯片集成封装组件的低温光谱定量化 被引量:2 2017年 在同一组件中多芯片多波段的应用中,由于芯片的中心距越来越小,导致某些相邻波段通常被集成制备到一个芯片上。为减小波段串扰,本文针对一体化双波段芯片集成封装组件的低温光谱定量化展开研究,通过制备一体化双波段芯片集成封装组件,并通过波段间物理隔离、金属区物理遮盖等措施将两波段的光束隔离。测试结果表明隔离前后,芯片间光谱串光现象有了明显改善,波段间串扰从8%降到了4%以内,光谱带外响应从6.5%降低至0.78%。为了避免低温工况下物理隔离条与芯片的热失配问题,隔离条采用与芯片衬底完全一致材料。双波段芯片集成封装组件的高低温冲击试验表明,其在有效抑制组件内串扰的同时,也解决了组件内关键部件的热失配问题。 徐勤飞 刘大福 刘大福 龚海梅 吴家荣 张亚妮 张亚妮 季鹏 王仍关键词:探测器组件 物理隔离 基于曲面反射镜的光谱仪用光纤集光器设计(英文) 被引量:1 2017年 为了提高传统光纤光谱仪的探测距离,首次提出采用两片旋转抛物面反射镜进行光谱仪用光纤集光器入射光学设计,将光谱仪探测距离从厘米量级提高到50m,可用于户外被动光源条件下超低空遥感探测。从光纤光谱仪对集光器的性能要求出发,推导出适用于不同灵敏度光纤光谱仪,针对不同探测目标、探测距离和不同天气条件下的抛物型集光器外围尺寸计算公式。根据计算结果,利用ZEMAX光学仿真软件设计出直径16mm,高7.8mm的光纤集光器模型,并利用TracePro光纤模拟软件进行追光分析,光学辐射放大率的仿真结果与理论计算结果完全吻合,误差小于0.78%。该集光器的设计可有效提高光纤光谱仪探测距离,拓展其应用领域和范围,且与传统透射型集光器相比,具有结构紧凑、轻便化、价格低廉等优点。 庄新港 王丽丽 邵秀梅 方家熊 蒋本和关键词:光纤光谱仪 中心距10 μm截止波长2.6 μm的延伸波长InGaAs焦平面探测器(英文) 被引量:1 2018年 采用ICP(inductively coupled plasma etching)刻蚀与湿法腐蚀相结合的方式,研制了像元中心距为10μm、截止波长2. 6μm的p-i-n型10×10元延伸波长In Ga As探测器.不同温度下的电流—电压特性研究和激活能分析,显示了器件优异的暗电流特性.在室温下,-10 mV偏压时器件的暗电流和优质因子R0A分别为0. 45 nA和14. 7Ω·cm^2,量子效率可达到63%.为了证实像元中心距减小并未影响器件性能,与同种材料中心距30μm的InGaAs焦平面阵列进行了对比分析.相似的实验结果进一步证明了工艺的可行性,对今后实现高密度、大面阵延伸波长InGaAs探测器具有重要的指导意义. 何玮 李平 邵秀梅 邵秀梅 于一榛 张亚光 邓双燕 杨波 杨波 李雪 李淘关键词:INGAAS探测器 暗电流密度 量子效率 光谱传感物联网节点的无线通信接口设计 被引量:1 2017年 根据近红外光谱数据的格式和特点,设计一种光谱传感物联网节点的无线通信接口,实现近红外光谱数据从物联网节点到电脑上位机的无线传输。主要进行了无线通信接口的硬件电路和软件程序设计,使用C#语言编写了接收端上位机,并借助单色仪进行了功能验证。实验结果表明,该无线通信接口的传输速率和通信距离可以满足物联网节点的近红外光谱数据传输应用需求,物联网节点一帧光谱数据的采集和传输时间小于1秒,总体功耗小于300 mW,最大通信距离大于150米,具有微型化和低功耗的特点。 王绪泉 黄松垒 于月华 叶捷敏 邵秀梅 方家熊关键词:物联网 近红外 无线通信 微型化 不同结构长波红外探测器组件的MTF分析 被引量:1 2016年 红外探测器组件作为目标探测和成像系统的核心器件,其空间分辨能力直接影响着探测系统的成像质量.评估探测器组件空间分辨能力时,常使用调制传递函数(MTF),而不同的探测器组件结构与其MTF直接相关.介绍了一套弥散斑直径为30μm的红外小光点测试系统,采用扫描狭缝法测试不同结构红外探测器组件的MTF.测试结果表明叠层电极结构侧面存在的光响应会导致线扩散函数(LSF)展宽和次峰等现象,从而造成探测器组件MTF下降,同时0.17 mm和0.30 mm两种芯片和滤光片间距对于探测器组件MTF的影响甚微,该结果为红外探测器组件杂光抑制设计提供了参考. 汪洋 刘大福 徐勤飞 王妮丽 李雪 龚海梅关键词:调制传递函数 红外探测器 空间分辨率 基于LabVIEW的短波红外焦平面相对响应光谱测试系统 被引量:4 2013年 搭建了一套适用于短波红外焦平面的相对响应光谱自动测试系统。系统测试程序在LabVIEW虚拟仪器开发环境下完成,具备光栅单色仪的控制、数据采集处理与存储等功能。系统采用单光路标准代替法实现了相对响应光谱的校准。测试了InGaAs短波红外线列焦平面,得到了每个像元校准后的相对响应光谱,提取了峰值波长、截止波长等参数在线列上的分布情况,实现了对焦平面全像元的相对响应光谱测试。 陈郁 贺香荣 邵秀梅 方家熊关键词:光栅单色仪 虚拟仪器 集成滤光片型近红外光谱组件的时空域性能改善研究 被引量:1 2021年 提出针对线性渐变滤光片型近红外光谱组件的时空域性能改善方法,并通过研制微型化512×2元InGaAs光谱组件,结合多帧数据融合算法完成了实验验证。光谱通道采用基于多次测量的两列相邻光敏元动态组合实现,相比单个大光敏元作为光谱通道,可以改善探测器盲元引起的不良影响。波长标定和测试结果表明,该光谱组件在线性渐变滤光片的分辨率限制下,可以有效减小相邻光谱通道间的波长间隔。 王绪泉 黄松垒 柯鹏瑜 刘梦璇 赵振力 方家熊关键词:铟镓砷 近红外 不同扩散掩膜方式对InGaAs平面探测器性能影响研究(英文) 被引量:1 2014年 测量了不同扩散掩膜生长方式的截止波长为1.70μm的InGaAs平面探测器的电学性能.其中,SiNx薄膜作为扩散掩膜,分别采用等离子体化学气相沉积(PECVD)和低温诱导耦合等离子体化学气相沉积(ICPCVD)生长.探测器焊接在杜瓦里测量,结果显示采用两种掩膜方式的器件的平均峰值响应率、探测率和量子效率分别为0.73和0.78 A/W,6.20E11和6.32E11cmHz1/2W-1,56.0%和62.0%;两种器件的响应波段分别为1.63~1.68μm和1.62~1.69μm;平均暗电流密度分别为312.9 nA/cm2和206 nA/cm2.通过理论分析两种器件的暗电流成分,结果显示,相对于采用PECVD作为扩散掩膜生长方式而言,采用ICP-CVD作为扩散掩膜生长方式大大降低了器件的欧姆暗电流成分. 王云姬 唐恒敬 李雪 邵秀梅 杨波 邓双燕 龚海梅关键词:INGAAS 暗电流 可见增强的32×32元平面型InGaAs/InP面阵探测器 被引量:2 2015年 为了实现In Ga As探测器响应波段向可见增强,在传统的外延材料中加入一层In Ga As腐蚀阻挡层,制备了32×32元平面型In Ga As面阵探测器,采用机械抛光和化学湿法腐蚀相结合的方法,去除了In P衬底.结果表明,探测器的响应波段为0.5~1.7μm,室温下在波长为500 nm处的量子效率约为16%,850 nm处量子效率约为54%,1 550 nm处量子效率约为91%.暗电流大小与衬底减薄之前基本保持一致.理论分析了材料参数对器件量子效率的影响,为进一步优化可见波段探测器的量子效率提供了依据. 杨波 邵秀梅 唐恒敬 邓洪海 李雪 魏鹏 王云姬 李淘 李淘关键词:量子效率 一种新型单片集成光谱传感器的波长定标方法(英文) 被引量:5 2017年 新型短波红外单片集成光谱传感器(MCSS)是光谱传感物联网的核心感知部件.提出了一种MCSS的波长定标方法,根据相对光谱响应度和波长分配原则把相邻像素组成一个定标通道.分别采用MCSS和两款商用光谱仪测量标准物质的光谱.实验结果表明,平均定标偏差为1.8 nm,与一款具有相似FWHM和取样间隔的商用光谱仪接近,能够满足实际应用的需要. 张亚光 庄新港 王绪泉 刘俊良 方家熊 邵秀梅 王丽丽关键词:短波红外 波长定标