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博士科研启动基金(0403054-Y)

作品数:3 被引量:2H指数:1
相关作者:王勇姚奎鸿汪新颜周俊金达莱更多>>
相关机构:浙江理工大学更多>>
发文基金:博士科研启动基金浙江省教育厅科研计划国家自然科学基金更多>>
相关领域:一般工业技术化学工程更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇化学工程

主题

  • 2篇氮化
  • 2篇氮化硅
  • 2篇硅烷
  • 2篇CVD
  • 1篇氮化硅陶瓷
  • 1篇智能化
  • 1篇智能化控制
  • 1篇陶瓷
  • 1篇热力学
  • 1篇先进陶瓷
  • 1篇流态床
  • 1篇硅粉
  • 1篇法制
  • 1篇CVD法
  • 1篇程序设计
  • 1篇串行
  • 1篇串行通讯

机构

  • 3篇浙江理工大学

作者

  • 3篇姚奎鸿
  • 3篇王勇
  • 2篇周俊
  • 2篇汪新颜
  • 1篇马照军
  • 1篇金达莱
  • 1篇王耐艳

传媒

  • 3篇浙江理工大学...

年份

  • 2篇2007
  • 1篇2006
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
流态床CVD法制氮化硅超微粉过程分析及实验验证被引量:1
2007年
分析了硅烷氨解法制备氮化硅超微粉的化学气相沉积(CVD)过程,讨论了制备氮化硅超微粉体的3个关键工艺要素,并采用立式双温区流态床实验装置实现氮化硅超微粉体的制备,获得粉体合成过程的一些关键控制参数。
王勇周俊汪新颜姚奎鸿
关键词:流态床CVD氮化硅硅烷热力学
硅烷流量对硅烷热CVD法制备纳米硅粉的影响被引量:1
2007年
纳米硅粉的制备方法很多,但采用硅烷(SiH4)热CVD法制备纳米硅粉较于其它方法有很多优势。文章研究了在特定的温度和压力下硅烷流量对硅粉制备的影响,并对制得的硅粉进行XRD、SEM和粒径分析表征,从而获得硅烷热CVD法制备硅粉一些关于硅烷流量等关键控制参数,为该法多参数优化控制以及将来的大规模工业应用做准备。
汪新颜金达莱马照军王勇姚奎鸿
关键词:硅烷硅粉
氮化硅陶瓷烧结设备的智能化控制程序设计
2006年
利用串行通讯技术建立氮化硅烧结设备调节器与计算机的通信,以VB为编程语言,编制控制程序对烧结设备进行智能化、程序化控制设计,实现烧结过程温度等物理量的实时记录、图形描述和记载存储,摆脱烧结过程物理量记录的人工干预,提高研发人员的工作效率,为先进陶瓷的研究开发提供便利,并提升设备的智能化程度和产品价值。
王勇周俊姚奎鸿王耐艳
关键词:氮化硅先进陶瓷串行通讯
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