吉林省科技发展计划基金(20120745)
- 作品数：2 被引量：9H指数：1
- 相关作者：宋立军王丽丽安涛郑伟涛田宏伟更多>>
- 相关机构：长春大学吉林大学更多>>
- 发文基金：吉林省自然科学基金吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学更多>>
- SiN_x薄膜在纳米压痕下的变形和断裂行为被引量：1
- 2016年
- 利用磁控溅射方法在Si(111)衬底上制备了厚度为1μm的非晶SiN_x薄膜,采用纳米压痕方法研究了薄膜的变形和断裂行为。傅立叶变换红外光谱显示实验获得了较为纯净的SiN_x薄膜。SiN_x薄膜在纳米压痕下呈现出放射状的脆性断裂特征,随着压入深度的增大,放射状裂纹的长度逐渐增加。最大压入深度达到1 500nm时,薄膜和衬底间出现了扇形的界面断裂,并且这一界面断裂是在卸载过程中发生的。到最大压入深度达到2 500nm时,原位原子力显微镜照片可以清晰的观察到界面断裂及放射状裂纹。界面断裂韧性计算结果表明,SiN_x薄膜和Si(111)衬底间易形成脆性较大的共价结构界面,这是其界面断裂韧性较小的原因。
- 安涛邓晓芳王丽丽宋立军
- 关键词：SINX纳米压痕脆性断裂
- TiN薄膜在纳米压痕和纳米划痕下的断裂行为被引量：8
- 2013年
- 利用磁控溅射方法在Si(111)衬底上制备了具有(111)和(222)择优取向的TiN薄膜.用纳米压痕和纳米划痕方法研究了该薄膜的变形和断裂行为.用扫描电子显微镜、纳米压痕原位原子力显微镜及原位光学显微镜并结合加-卸载曲线及划痕曲线获得了薄膜发生变形和断裂的微观信息.在压痕试验中,TiN薄膜在压入深度为200nm时表现为塑性变形及压痕周围的局部断裂,随着压入深度的增大,塑性变形和局部断裂变得越显著,当最大压入深度达到临界值1000nm时,薄膜和衬底间发生了界面断裂.在划痕实验中,100mN及200mN的最大载荷均可以引起界面断裂.最大为200mN的载荷使得薄膜发生界面断裂的位置比用100mN载荷时的位置提前,但其临界断裂载荷和100mN时及压痕实验时的临界界面断裂载荷基本相同.
- 安涛文懋田宏伟王丽丽宋立军郑伟涛
- 关键词：TIN薄膜纳米压痕纳米划痕
