天津市科技计划(10JCYBJC05900)
- 作品数：6 被引量：25H指数：2
- 相关作者：李晓伟常明陈希明李翠平高成耀更多>>
- 相关机构：天津理工大学中国人民武装警察部队学院天津大学更多>>
- 发文基金：天津市科技计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学环境科学与工程电子电信更多>>
- 基于X射线sin^2φ法的择优取向金刚石膜残余应力分析被引量：1
- 2010年
- X射线sin2φ法是薄膜残余应力分析中比较理想的测量手段,但择优取向的存在导致薄膜各向异性,从而会影响测试曲线2～sin2φ的线性关系,表现为曲线的震荡现象。本文利用化学气相沉积(CVD)技术制备(110)择优取向金刚石膜样品,采用X射线sin2φ法对样品残余应力进行测试,通过合理选择衍射晶面和φ角避免择优取向对测量结果的影响,使测试曲线保持良好的线性。然后基于双金属和薄片弯曲理论模型对膜内热应力进行计算,进而得出样品内本征应力状态和大小。结果表明:金刚石薄膜内热应力总为压应力,择优取向使得晶粒排布的有序程度大大提高,本征应力主要来源于杂质的压应力,二者综合作用使得总残余应力表现为受压;随薄膜厚度增加,总应力绝对值变大,其中热压应力绝对值变小甚微,本征压应力绝对值增加显著。
- 李晓伟常明
- 关键词：金刚石膜残余应力
- 硼掺杂金刚石电极及其电分析应用被引量：20
- 2011年
- 一种新电极材料的发明往往会推动电分析测试的发展。硼掺杂金刚石(BDD)电极在电分析中具备宽电势窗口、低背景电流、耐腐蚀稳定性高和低吸附的特点,因而在电分析化学中引起了广泛的兴趣。本文对BDD电极的制备、表征和基本电分析性质进行了介绍,并对其在毛细管电泳、生物传感电极、痕量金属离子检测、化学修饰电极及化学需氧量快速测定方面的应用进行了综述。
- 高成耀常明李晓伟李翠平
- 关键词：毛细管电泳电化学生物传感器化学修饰电极
- 大面积均匀平坦纳米AlN薄膜的研制
- 2013年
- 采用射频磁控溅射法,通过优化沉积工艺,在n型(100)Si片上制备出(100)择优取向表面粗糙度均匀的氮化铝(AlN)薄膜。当溅射功率为120 W和N2∶Ar=12∶8时,制备的AlN薄膜的结晶性最好,101.6mm AlN薄膜样品的表面粗糙度为3.31-3.03nm,平均值为3.17nm。研究结果表明:射频磁控溅射能量和N2浓度是实现大面积、均匀平坦、纳米级AlN薄膜的重要制备工艺参数。
- 朱宇清陈希明李福龙李晓伟杨保和
- 关键词：表面粗糙度均匀性
- L-丝氨酸修饰掺硼金刚石薄膜电极检测去甲肾上腺素被引量：1
- 2014年
- 采用直流等离子体喷射化学气相沉积（CVD）法制备了掺硼金刚石（BDD）薄膜电极。提出了应用L-丝氨酸修饰掺硼金刚石薄膜电极检测去甲肾上腺素,提高了去甲肾上腺素（NE）含量检测的精度。在浓度为2.0×10^-4mol/L的去甲肾上腺素溶液中,通过对比BDD裸电极与L-丝氨酸修饰BDD电极得出：经L-丝氨酸修饰的BDD电极的电催化氧化能力明显增强;在浓度为1.0×10^-4～1.0×10^-8mol/L的范围内,浓度的对数与氧化峰电流基本呈线性关系,且检测限为1.0×10^-9mol/L。
- 刘晓辰陈希明李晓伟曹阳
- 关键词：L-丝氨酸
- 碳源浓度对掺硼金刚石/多孔钛复合材料制备的影响被引量：1
- 2011年
- 利用热丝化学气相沉积技术,在多孔钛膜上生长重掺硼金刚石薄膜,研究了碳源浓度对复合膜表面形貌及薄膜质量的影响.结果表明钛膜表面沉积的掺硼金刚石薄膜因碳源浓度的不同而不同,掺硼金刚石薄膜的质量随碳源浓度的减小而提高.金刚石/钛复合膜因碳源浓度的不同会产生复杂的变化,在重掺杂高碳源浓度下金刚石生长抑制碳化钛的形成.
- 马明常明李晓伟
- 关键词：掺硼金刚石薄膜碳源浓度
- 自清洁金刚石复合材料在染料废水处理中的应用研究被引量：2
- 2011年
- 利用自制的废水处理组件,分别用金属钛膜和金刚石复合膜作阳极对分散蓝2BLN溶液进行处理。比较不同电极处理水中的COD值,并用高效液相色谱仪确定两电极对有机物的处理能力。结果表明,金刚石复合膜作阳极时自清洁能力更强,能更好地维持膜的通透性。延长了金属膜的使用寿命,提高了金属膜的利用率。
- 董伯辉常明李晓伟
- 关键词：热丝化学气相沉积化学需氧量X射线衍射膜通量
