您的位置： 专家智库 > >

福建省重大科技项目(2009HZ1021)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：林智鑫郭航王盛贵曾毅波刘琦更多>>
相关机构：厦门大学更多>>
发文基金：福建省重大科技项目国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇阳极键合
  • 1篇三层结构
  • 1篇键合
  • 1篇SI
  • 1篇硅

机构

  • 1篇厦门大学

作者

  • 1篇刘琦
  • 1篇曾毅波
  • 1篇王盛贵
  • 1篇郭航
  • 1篇林智鑫

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
带有Si_3N_4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合被引量：3
2013年
为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层(玻璃—硅—玻璃)的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究;设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质的黑色从而判断阳极键合质量,对键合后的样品进行拉力测试,研究表明:当采用键合温度为400℃,电压为1200 V,压力为450 Pa,可获得键合面积大于90%的带有Si3N4薄膜的三层阳极键合结构。
林智鑫王盛贵刘琦曾毅波郭航
关键词：阳极键合
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0