江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(CX10B-258Z)
- 作品数:1 被引量:0H指数:0
- 相关作者:张伟王星罡李健周明狄建科更多>>
- 相关机构:苏州德龙激光有限公司江苏大学更多>>
- 发文基金:江苏省普通高校研究生科研创新计划项目江苏省高校优势学科建设工程资助项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信机械工程更多>>
- 紫外激光对触摸屏产品中不可视区域刻蚀实验研究
- 2012年
- 采用紫外激光对触摸屏产品中不可视区域进行刻蚀分析,探究了紫外激光刻蚀原理,讨论了银浆薄膜激光刻蚀与传统印刷工艺异同点,并在此基础上完成一套紫外激光刻蚀系统方案的设计和建造。实验结果表明,选用波长为355nm的紫外激光器,当激光器功率为10W,重复频率100kHz,刻蚀速度为1500mm/s,刻蚀次数1次时,薄膜被完全刻蚀,最终获得功能良好的银浆线路。经测试后发现,所刻蚀后银浆线条平直而光滑,边缘热影响区域较小,最小刻蚀线宽可以达到10μm,基板未受到损伤;与传统印刷工艺相比较,简化了工艺步骤,产品良品率得到提升,是一种无排放的绿色环保先进的刻蚀工艺。
- 狄建科周明赵裕兴王星罡李健张伟
- 关键词:紫外激光激光刻蚀触摸屏