国家高技术研究发展计划(2009AA04Z322)
- 作品数：4 被引量：24H指数：2
- 相关作者：秦明赵成龙黄庆安马洪宇张广庆更多>>
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- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于EIT技术的气流传感器及其实验研究被引量：1
- 2012年
- 提出了一种新型的、基于电阻抗断层成像技术进行气流传感的微机电(MEMS)传感器结构,其基本构造为覆盖在加热器件之上的半导体硅薄膜以及位于硅薄膜四周的16个金属电极.首先,在金属电极对中注入电流,并根据相邻测试规则测量其他电极对间的电压;然后,改变电流注入位置并测量电压,得到208个电压值;最后,利用成像软件将电流和电压参量转换为电阻率分布图像.气流流动所导致的热场分布变化将引起薄膜电阻率的分布发生变化.气流传感实验结果表明,气流方向、速度的变化能够采用图像的方式清晰、直观地进行描述.研究结果为MEMS传感器设计提供了新的方案与技术.
- 蒋明霞李伟华张良葛宇昊
- 关键词：电阻抗断层成像
- 谐振式MEMS温度传感器设计被引量：16
- 2010年
- 为了实现以频率输出为信号的气象温度测量,提出了一种基于双层悬臂梁的谐振式微温度传感器。基于双悬臂梁不同材料热膨胀系数的差异会导致悬臂梁谐振频率偏移的原理,采用压电方式同时实现悬臂梁的驱动及其谐振频率的检测,从而实现温度的测量。根据硅基传感器的正面腐蚀工艺,设计了谐振悬臂梁的双层结构,采用有限元方法分析了悬臂梁的谐振模态、可利用的振型及其温度与各模态谐振频率的关系,并利用多普勒振动系统对悬臂梁的谐振特性进行了研究。实验发现悬臂梁的二阶弯曲振型Q值相对于其它振型是最大的,其Q值约为150;高阶振型特别是二阶弯曲振型适合用于以ZnO为压电材料的温度传感器的频率检测,并且具有相对较高的灵敏度(约为20Hz/℃)和频率温度系数(1.9×10-4/℃)。结果表明,微型温度传感器能够满足气象温度检测的要求,并具有抗干扰能力强、灵敏度高、信号传输接口简单等优点。
- 马洪宇黄庆安秦明
- 关键词：频率测量谐振悬臂梁
- CMOS电容式湿度传感器特性研究
- 2011年
- 提出了一种CMOS电容式湿度传感器特性研究方案。研究所用的微电容湿度传感器由标准CMOS工艺结合MEMS后处理技术加工而成。为了测试湿度传感器的响应时间,设计了一种响应时间测试装置。测试结果表明,该电容式湿度传感器在相对湿度25%～95%的范围内具有较好的线性度;其回滞在75%RH时达到最大,为2%RH;该传感器响应时间较短;短期测试无明显漂移。
- 刘岩赵成龙聂萌秦明
- 关键词：电容式传感器湿度传感器CMOS工艺MEMS
- MEMS电容式湿度传感器后处理工艺研究被引量：7
- 2011年
- 利用标准CMOS工艺结合MEMS后处理制得一种梳齿状结构的电容型湿度传感器。这种湿度传感器采用聚酰亚胺(PI)作为感湿介质。实验研究了聚酰亚胺薄膜的厚度和固化条件对湿度传感器敏感性能的影响,结果显示:聚酰亚胺薄膜厚度为2.4μm,采用阶梯升温加热法,并以250℃作为最高固化温度时,测量结果表明该湿度传感器具有优异的敏感性能。
- 张广庆赵成龙秦明
- 关键词：聚酰亚胺湿度传感器后处理工艺
