年山西省研究生优秀创新项目(20103083)
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 相关作者：薛晨阳仝晓刚晋玉剑刘俊张文栋更多>>
- 相关机构：中北大学更多>>
- 发文基金：年山西省研究生优秀创新项目国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 一种基于SOI的集成光波导耦合系统的设计与制备被引量：2
- 2011年
- 根据锥形光纤与平面环型微腔耦合原理,使用L-Edit版图设计软件设计并优化了锥形光波导与微腔耦合系统。利用MEMS工艺对SOI圆晶片进行加工,从而实现了锥形光波导与跑道型以及环型光波导微腔的集成。其中,光波导以及微腔通过ICP刻蚀顶层硅而成,矩形槽通过RIE刻蚀衬底硅而成。光波导两侧的矩形凹槽可方便光纤接入以及对出射光的探测,从而提高了光波导微腔耦合系统的稳定性。
- 李鹏张宇光王丽刘正严英占仝晓刚薛晨阳闫树斌
- 关键词：ICPRIE
- 单模光纤与SOI纳米线波导耦合设计被引量：1
- 2011年
- 波导光栅在集成光学发展中扮演着重要的角色。与其他的耦合方法相比,光栅耦合器具有耦合效率高、制备封装成本低、无需芯片端面抛光、可以在任何地方实现信号输入输出等优点,成为纳米光波导最有潜力的耦合方法。本文提出利用OPTIFDTD软件仿真结合MATLAB编程的方法精确计算光栅耦合效率的新方法。仿真分析了光栅的周期、槽深、占空比、SiO2层厚度等光栅参数对耦合效率的影响,并给出了使输入光栅耦合器耦合效率达到42.6%;输出光栅耦合器的耦合效率达到72.3%的一组最佳光栅参数。
- 曹敏陈够喜仝晓刚
- 关键词：集成光学光栅耦合器
- 高Q值环形波导微谐振腔研究进展被引量：4
- 2011年
- 基于高Q值环形波导微谐振腔和微加工工艺的微光机电器件及系统是当前微纳制造科学和量子光学技术领域的研究热点。主要分析了环形波导微谐振腔的物理作用及应用价值,系统综述了环形波导微谐振腔Q值的测量方法,重点讨论了硅基环形波导微谐振腔Q值的影响因素,从材料、结构设计、加工工艺方面分析了提高环形波导微谐振腔Q值的技术途径,指出了当前高Q值环形波导微谐振腔研究存在的技术瓶颈问题,并展望了未来的发展趋势。
- 晋玉剑薛晨阳丑修建刘俊张文栋
- 关键词：微谐振腔高Q值微光机电系统
