国防基础科研计划(J092009A001)
- 作品数：6 被引量：9H指数：2
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- 蓝宝石衬底上生长的铝镓氮外延膜的应变分析
- 2016年
- 采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法制备了不同Al组分含量的2μm厚Al_xGa_(1-x)N外延膜,通过透射电镜定性分析了外延膜中的位错和缺陷,通过高分辨X射线衍射试验对Al_xGa_(1-x)N外延膜进行ω/2θ扫描,结果显示外延膜为六方晶系纤锌矿结构,通过对对称面和非对称面的晶面间距进行修正精确计算了外延膜晶格常数,并由此对应变进行定量分析,四个不同Al组分的Al_xGa_(1-x)N外延膜样品的四方畸变值随Al含量的增大而逐渐减小,并且均小于零,在水平方向上均处于压应变状态。
- 王雪蓉刘运传孟祥艳周燕萍王康王倩倩
- 关键词：MOCVD高分辨X射线衍射晶格常数
- 分光光度法测量铝镓氮外延片中的铝含量
- 2013年
- 采用熔融的氢氧化钠刻蚀在蓝宝石衬底上生长的铝镓氮外延层，用深紫外光致发光光谱仪测量铝镓氮的荧光光谱来控制铝镓氮层的刻蚀深度，用盐酸将含铝氢氧化钠中和并调节至酸性（pH1-2）后转移至250mL的容量瓶内定容，用铬天青S络合显色，用分光光度计在546nm处测定吸光度来确定铝的浓度。该法测量结果的相对标准偏差为1．1％（n=5），加铝标准溶液做回收试验，回收率为96％～103％。该法可用于铝镓氮外延片中铝含量的准确测量。
- 刘运传王雪蓉孟祥艳周燕萍段剑郑会保
- 关键词：铬天青S络合物
- 采用光致发光法和卢瑟福背散射法测定AIxGa1-xN薄膜中的Al元素含量及斯托克斯移动研究
- 2014年
- 采用深紫外光致发光技术测量AIxGa1-xN半导体薄膜的禁带宽度，结合软件模拟计算AIxGa1-xN薄膜的弯曲因子b，测定了AIxGa1-xN薄膜中的Al元素含量，同时采用卢瑟福背散射技术测定AIxGa1-xN薄膜中的Al元素含量。结果显示，AIxGa1-xN薄膜的激发光谱和吸收光谱测得的禁带宽度一致，说明AIxGa1-xN薄膜中不存在斯托克斯移动，由MaterialStudio软件计算得到弯曲因子b为1．01eV，符合理论值；在卢瑟福背散射测量中，模拟谱和随机谱重合较好，能够准确测得灿元素含量。两种方法测定的AIxGa1-xN外延膜样品中的A1组分含量基本一致，光致发光法结果比背散射法结果稍大，而且Al含量越小，测量结果越吻合。
- 王雪蓉刘运传孟祥艳周燕萍王康
- 关键词：光谱学铝含量光致发光
- 精确测定Al_xGa_(1-x)N晶体薄膜中铝含量的电子探针波谱法研究被引量：4
- 2013年
- 采用蒙特卡罗理论模拟加速电子在氮铝镓晶体薄膜中的运动轨迹,研究加速电压与高能电子所能达到样品深度的数学关系,并通过紫外可见光透射法获得晶体薄膜的光学厚度。根据理论模拟结果,选择合适于本样品的加速电压、电流与电子束直径等实验条件,电子探针波谱法测定AlxGa1-xN薄膜中铝元素含量,由两个电子探针实验室进行分析,每个实验室测量6个样品,共12个样品。从重复性测量、X射线强度、物理参数、校准用标准物质及仪器检测限等因素,对电子探针波谱法测量AlxGa1-xN薄膜材料中铝含量的测量不确定度进行分析。研究结果表明电子探针波谱法测量AlxGa1-xN晶体薄膜组分(x=0.8)的相对测量不确定度为2.7×10-2,包含因子k=2。
- 刘运传周燕萍王雪蓉孟祥艳段剑郑会保
- 关键词：测量不确定度蒙特卡罗法
- Al_xGa_(1-x)N晶体薄膜中铝含量的卢瑟福背散射精确测定被引量：6
- 2013年
- 采用金属有机化合物气相淀积法在(0001)取向的蓝宝石衬底上生长一层大约20nm厚的AlN缓冲层,在缓冲层上生长大约2μm厚、晶体质量良好的AlxGa1-xN外延层,通过深紫外光致发光法测量发光峰的能量Eg判断外延层中铝含量的均匀性,取样品均匀性良好的氮铝镓外延片进行卢瑟福背散射(RBS)实验,通过两个高能离子束实验室分别进行RBS随机谱分析,每个实验室测量六个样品,由分析软件拟合随机谱获得外延层中的xAl.并对样品的均匀性、堆积校准、计数统计、散射角、离子束能量与阻止截面等影响测量结果准确性的不确定度来源进行分析.结果表明,采用入射离子4He,能量为2000keV,散射角为165时,氮铝镓外延片中铝含量(x=0.8)的测量不确定度为2.0%,包含扩展因子k=2.
- 刘运传周燕萍王雪蓉孟祥艳段剑郑会保
- 关键词：卢瑟福背散射测量不确定度
- 精确测定In_xGa_(1-x)N晶体薄膜中铟含量的卢瑟福背散射法研究被引量：1
- 2017年
- 采用金属有机化合物气相淀积法(MOCVD)在蓝宝石上生长InxGa1-xN/Ga N晶体薄膜,Ga N缓冲层的厚度为2.5μm,InxGa1-xN晶体薄膜的厚度大约800 nm,通过光致发光光谱仪测量样品发光峰的峰值,确定铟镓氮晶体薄膜中铟分布的均匀性,取样品均匀性良好的铟镓氮晶片进行卢瑟福背散射实验,每个实验室测量6个样品,两个实验室共同完成,对数据进行分多层精确拟合分析,获得外延层中的xIn,xIn值由多层拟合结果的加权平均值和定值不确定度组成。研究结果表明:采用入射离子4He,能量为2 000 ke V,散射角为165°时,铟镓氮晶片中铟含量(x=20.46%)的相对测量不确定度为2.47%,包含因子k=2。
- 王雪蓉刘运传孟祥艳周燕萍王康王倩倩
- 关键词：卢瑟福背散射测量不确定度
