国家自然科学基金(50442025)
- 作品数：5 被引量：31H指数：3
- 相关作者：姚奎鸿王勇汪新颜祝洪良金达莱更多>>
- 相关机构：浙江理工大学浙江大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金浙江省教育厅科研计划博士科研启动基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术化学工程电子电信理学更多>>
- 二氧化锡(SnO_2)纳米颗粒的水热合成及表征被引量：15
- 2006年
- 采用柠檬酸钠辅助水热技术合成单分散的二氧化锡(SnO2)纳米颗粒,用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、紫外/可见光谱等手段对其结构、形态和光吸收性能进行了表征,XRD和FESEM结果表明该产物是正方结构的SnO2纳米颗粒,直径约为60 nm,并用吸收光谱估计了禁带宽度(约3.6 eV)。
- 于桂霞祝洪良姚奎鸿
- 关键词：二氧化锡水热半导体
- 流态床CVD法纳米氮化硅粉体的制备被引量：11
- 2006年
- 采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积,制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体,并利用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和傅立叶红外(FTIR)研究了该纳米粉体的形貌、成分和物相．讨论了该流态床法制备纳米氮化硅的关键因素,并得到流态床中制备氮化硅纳米粉体的优化工艺参数．
- 王勇沃银花姚奎鸿祝洪良王耐艳
- 关键词：流态床
- 热CVD法制备纳米硅粉及其表征被引量：4
- 2008年
- 采用简单的热CVD反应法成功制备了纳米硅粉、X射线衍射和透射电镜结果表明：该产物是无定形的球形纳米粉体，粒径为20～100nm．粉体粒径随分解温度敏感，温度升高粒径减小，但高于700℃时急剧增加．傅立叶红外分析表明，粉体存在Si～H键，且H含量随分解温度升高而降低．进一步研究表明，该无定形纳米硅粉经700℃退火处理可转变为晶体硅．
- 杨红金达莱马照军王勇汪新颜姚奎鸿
- 流态床CVD法制氮化硅超微粉过程分析及实验验证被引量：1
- 2007年
- 分析了硅烷氨解法制备氮化硅超微粉的化学气相沉积(CVD)过程,讨论了制备氮化硅超微粉体的3个关键工艺要素,并采用立式双温区流态床实验装置实现氮化硅超微粉体的制备,获得粉体合成过程的一些关键控制参数。
- 王勇周俊汪新颜姚奎鸿
- 关键词：流态床CVD氮化硅硅烷热力学
- RF-PECVD法在钢衬底上沉积氮化硅薄膜的研究被引量：1
- 2008年
- 采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)在钢衬底上沉积氮化硅薄膜。用台阶仪、X射线光电子能谱(XPS)、透射电镜(TEM)和扫描电镜(SEM)等手段对薄膜的厚度、成分、结构及形貌进行表征,并探讨了各工艺参数对薄膜沉积速率的影响。
- 杜平凡席珍强汪新颜金达莱王勇
- 关键词：氮化硅薄膜RF-PECVD沉积速率
