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上海市科委纳米专项基金(1052nm07900)
作品数:
1
被引量:8
H指数:1
相关作者:
陆敏
朱丽娜
徐建
吴立敏
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相关机构:
上海市计量测试技术研究院
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发文基金:
上海市科委纳米专项基金
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相关领域:
理学
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吴立敏
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徐建
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陆敏
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年份
1篇
2012
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纳米薄膜的制备技术及其膜厚表征方法进展
被引量:8
2012年
纳米薄膜材料是一种新型材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景。本文综述当前纳米薄膜的制备技术,并针对这些成膜工艺,概括表征纳米薄膜厚度的常用方法。
徐建
陆敏
朱丽娜
吴立敏
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