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上海市科委纳米专项基金(1052nm07900)

作品数：1 被引量：8H指数：1
相关作者：陆敏朱丽娜徐建吴立敏更多>>
相关机构：上海市计量测试技术研究院更多>>
发文基金：上海市科委纳米专项基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇膜厚
  • 1篇纳米

机构

  • 1篇上海市计量测...

作者

  • 1篇吴立敏
  • 1篇徐建
  • 1篇朱丽娜
  • 1篇陆敏

传媒

  • 1篇现代仪器

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
纳米薄膜的制备技术及其膜厚表征方法进展被引量：8
2012年
纳米薄膜材料是一种新型材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景。本文综述当前纳米薄膜的制备技术,并针对这些成膜工艺,概括表征纳米薄膜厚度的常用方法。
徐建陆敏朱丽娜吴立敏
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