西安应用材料创新基金(XA-AM-200611)
- 作品数：11 被引量：15H指数：3
- 相关作者：赵高扬彭海军张卫华王哲哲张黄莉更多>>
- 相关机构：西安理工大学国家复合改性聚合物材料工程技术研究中心更多>>
- 发文基金：西安应用材料创新基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信理学电气工程更多>>
- 直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究被引量：1
- 2008年
- 采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性,制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3)前驱溶胶及其凝胶薄膜;结合直接感光法,首先制备图形化凝胶薄膜,再通过后续热处理,在Pt/TiO_2/SiO_2/Si衬底上最终得到了具有钙钛矿结构的钛酸锶钡图形化薄膜,其图形厚度约为793nm,相对介电常数约为600,介电损耗约为0.03.
- 张卫华袁媛石春梅赵高扬
- 关键词：BST薄膜感光性微细图形溶胶-凝胶工艺
- 硅基光波导芯层材料及波导分束器的制备被引量：3
- 2009年
- 本文采用溶胶-凝胶法制备了具有紫外感光性的SiO2/ZrO2/H有机无机复合薄膜,利用分光式椭偏仪测得该薄膜在光纤的常用通信窗口0.85μm、1.31μm和1.55μm波长附近折射率分别为1.556 9、1.548 9和1.547 2,与下包层SiO2的折射率(1.46)相比,其折射率差比δ分别为6.64%,6.09%和5.97%,可作为芯层材料用于光波导的制备.通过控制提拉速率可以制作出厚度分别为1.29,2.20,4.00,5.44和6.82μm的SiO2/ZrO2/H芯层薄膜,以满足0,1,2,3和4阶导模的传输要求.进而利用该薄膜自身的感光特性结合紫外掩模法,制备出相应厚度的1×8Y分支光功率分配器.通光实验表明,该光功分器能够将1.53～1.56μm波长的光限制在波导内,实现光的传输和分束功能.
- 王哲哲赵高扬张晓磊雷瑛
- 关键词：有机无机复合Y分支光功率分配器
- 低氟溶胶-凝胶法制备Φ76.2mm YBCO薄膜被引量：2
- 2010年
- 采用低氟溶胶-凝胶法在Φ76.2mm的LaAlO3(LAO)单晶衬底上制备YBCO薄膜,然后对Φ76.2mm的YBCO薄膜样品的微观结构、膜厚及超导性能进行均匀性测试分析。结果表明:所制备的薄膜厚度均匀并具有较好的c轴外延生长取向和均匀的超导电性能。
- 雷黎赵高扬刘晓梅赵娟娟
- 关键词：YBCO薄膜
- 基于原子力显微技术的PZT微阵列图形铁电性能被引量：1
- 2008年
- 应用基于原子力显微镜与铁电分析仪联用的方法,在无顶电极的情况下,直接测试了PZT微阵列格点的电滞回线。结果表明,应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能够表征铁电电容的电滞回线,并且可以定性地评价薄膜微电容的铁电特性。
- 徐国敏赵高扬张卫华邓小翠谭红何力
- 关键词：锆钛酸铅电滞回线微细图形
- 高温超导薄膜微细图形制备工艺的研究进展
- 2008年
- 高温超导薄膜具有良好的物理性能,其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用。概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展,重点介绍了高温超导薄膜微细图形制备方法中的光刻法、改性工艺、耐熔微掩膜制备法和Sol-gel法与化学修饰法相结合的基本原理、工艺特点及最新研究进展。首次把Sol-gel法与化学修饰法相结合制备薄膜的微细图形的工艺用于高温超导薄膜微细图形的制备中。
- 张黄莉赵高扬彭海军刘晓梅
- 关键词：高温超导薄膜微细图形溶胶-凝胶法化学修饰
- 溶胶-凝胶法制备YBCO超导薄膜微细图形被引量：1
- 2009年
- 以甲醇为溶剂,以醋酸铜、醋酸钇和醋酸钡为起始原料,二乙烯三胺、三氟乙酸、丙烯酸为添加剂,采用溶胶-凝胶法制备了具有紫外感光性的YBCO溶胶及其凝胶薄膜,其紫外吸收峰在250nm附近,对应于铜络合物的电子跃迁吸收,随着紫外光的照射,其峰值逐渐降低,凝胶在有机溶剂中的溶解性也发生变化,显示了凝胶薄膜的紫外感光性.基于这一特性,本文提出了一种YBCO超导薄膜图形制备新方法,即利用凝胶薄膜自身的紫外感光性,使紫外光通过掩模照射薄膜,然后在甲醇中溶洗,进一步热处理,得到了YBCO超导薄膜图形.结果表明,图形化的YBCO薄膜具有较强的c轴取向,超导转变温度TC达到92K.
- 张黄莉赵高扬彭海军
- 关键词：YBCO溶胶-凝胶感光性微细图形
- 有机-无机复合材料光波导的制备被引量：3
- 2008年
- 有机-无机复合光波导在光通信领域具有重要的应用价值,是目前的研究热点之一。采用溶胶-凝胶法分别制备了膜厚达13μm的光滑平整的PMMA膜和具有紫外感光性的膜厚为1.76μm的SiO2/ZrO2凝胶膜,研究了SiO2/ZrO2凝胶膜的感光性及紫外光照对两种薄膜折射率的影响。在此基础上,以PMMA膜为包层膜,SiO2/ZrO2凝胶膜为芯层膜,实现了光波导的包芯层复合。利用SiO2/ZrO2凝胶膜的感光性,结合紫外掩模技术,制备了条形的有机-无机复合光波导,理论分析表明该复合条形光波导能够实现入射波长为1.31μm,模数为0,1的传输。
- 王哲哲赵高扬李美莲盛淑月张晓磊
- 关键词：折射率
- 无机薄膜光栅的制备及其衍射特性研究被引量：3
- 2008年
- 有效地结合激光干涉法和化学刻蚀法,提出一种制备高密度、高衍射效率无机光栅的新方法.采用溶胶-凝胶法和化学修饰法合成具有紫外感光性的含锆溶胶,并在(100)硅基板上制备含锆感光性凝胶薄膜.利用该薄膜,结合激光干涉技术和热处理工艺制备出周期为1μm的无机ZrO2薄膜光栅.为了提高光栅的深宽比,采用碘饱和的KOH各向异性刻蚀剂对无机光栅进行湿法化学刻蚀,从而有效地提高了光栅的衍射效率.对刻蚀后的光栅进行表面镀金处理,提高光栅的表面光洁度和反射率使得光栅的衍射效率得到进一步的提高.
- 王哲哲赵高扬马介源彭海军李美莲
- 关键词：溶胶-凝胶激光干涉衍射效率
- 基于原子力显微技术的PZT薄膜铁电性能研究被引量：2
- 2010年
- 针对现有测试技术不能直接获得纳米尺度铁电薄膜电滞回线的问题,提出了将原子力显微镜与铁电分析仪连用的方法,研究了锆钛酸铅(PZT)薄膜样品的电滞回线。结果表明,应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能表征铁电薄膜的电滞回线,在无顶电极测试条件下,测试得到的电滞回线很不对称,且剩余极化值较大。
- 徐国敏赵高扬张卫华谭红邓小翠
- 关键词：铁电薄膜电滞回线原子力显微镜
- 含铜螯合物的感光性与CuO的微细图形研究被引量：2
- 2008年
- 以苯酰丙酮[BzAc]作为化学修饰剂,采用溶胶-凝胶法合成了含铜的螯合物,研究了含铜螯合物的紫外、红外光谱特性。发现在330nm处有与含铜螯合物相关的吸收峰,当紫外光照射该凝胶薄膜后,与含铜螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,含铜螯合物分解。伴随着螯合物的分解,其凝胶薄膜在有机溶剂中的溶解性迅速降低,从而表现出紫外光感应特性,利用这种光感应特性,可获得该凝胶薄膜的微细图形。再经过500℃热处理,得到了具有立方相氧化铜薄膜的微细图形。
- 张黄莉赵高扬薛人中彭海军
- 关键词：溶胶-凝胶法化学修饰微细图形
