中央高校基本科研业务费专项资金(01-09-100015)
- 作品数：2 被引量：16H指数：2
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- 相关领域：机械工程理学更多>>
- 齿侧间隙对齿轮机构响应频率的影响研究被引量：7
- 2011年
- 为模拟工程应用中齿侧间隙对齿轮机构响应频率的影响,建立了含齿侧间隙的单级齿轮机构多刚体模型,探讨了轮齿弹性接触碰撞力模型的参数辨识方法。对该机构进行动力学计算,比较了不考虑齿轮副间隙的线性机构和考虑齿轮副间隙非线性机构的响应频率,定量地给出了齿侧间隙大小与该机构响应频率的对应关系。计算结果表明,齿侧间隙的存在会降低机构的响应频率,并会产生多频现象。为优化齿侧间隙的大小、提高机构动力学特性提供理论指导。
- 肖回鹏罗欣徐振高
- 关键词：齿轮机构齿侧间隙
- 调焦调平探测光斑位置误差对测量准确度影响的研究被引量：9
- 2010年
- 调焦调平测量系统(FLMS),实时测量硅片曝光视场区域与投影物镜焦面的相对位姿,其测量准确度影响光刻机曝光成像质量。调焦调平测量采用大入射角将3个以上的探测光斑投影到硅片曝光视场区域实现对硅片高度和倾斜的测量。如果光斑位置存在误差,就会引起硅片测量准确度误差,进而造成硅片曝光视场区域离焦,影响曝光成像质量。根据调焦调平单点几何测量模型,建立了光斑位置误差模型。研究结果表明,调焦调平单光斑的测量高度误差与光斑水平位置误差成正比,经调整调焦调平的零平面与焦面近似平行,并精确校准光斑水平位置误差到0.05 mm,其造成的测量误差最大为10 nm。
- 廖飞红李小平陈学东李志丹
- 关键词：光刻机
