国家自然科学基金(51175238)
- 作品数：4 被引量：8H指数：2
- 相关作者：王权李允邓海君蒋力耘张艳敏更多>>
- 相关机构：江苏大学中国科学院南京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏高校优势学科建设工程项目中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术理学更多>>
- 表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器被引量：1
- 2014年
- 设计了表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器芯片,采用由低压化学气相沉积法(LPCVD)制备的低应力氮化硅(LS SiN)薄膜作为压力传感器芯片的核心结构层,多晶硅薄膜淀积在LS SiN薄膜上,通过结构和位置的优化设计,干法腐蚀制作形成力敏电阻条。制作了压力量程从60 kPa到1 MPa的传感器芯片。试验测试了量程60 kPa压力传感器的长期稳定性,结果表明在室温环境下时,压力传感器显示了较稳定的长时输出,且用LPCVD低温二氧化硅密封的真空参考压力腔没有泄漏问题出现。该超小型传感器制造成本低,具有广泛应用的前景。
- 张艳敏王权李昕欣
- 关键词：绝对压力传感器压阻芯片
- 基于不同单光子能量拉曼谱的氢化硅薄膜微观特性研究被引量：1
- 2011年
- 用等离子体增强化学汽相沉积法(PECVD)在玻璃和单晶硅(c-Si)衬底上分别制备了氢化纳米硅(nc-Si:H)和非晶硅(a-Si:H)薄膜,用紫外、可见和近红外3种不同波长的激光线对不同形态的Si薄膜进行拉曼散射实验研究。研究发现,这些Si薄膜在不同的单光子能量的激光线激发下的拉曼谱线形也不同。进而通过对Si薄膜材料中光吸收系数、折射率、消光系数和穿透深度等的理论分析以及薄膜内部原子数密度及键能密度的计算,对实验结果进行了详细的解释。研究表明,在对Si薄膜微观特性的拉曼光谱研究中,应根据薄膜的具体厚度选择最合适的激发波长,才能对精细微结构获得更为深层次的认识。
- 王权胡然蒋力耘丁建宁何宇亮
- 关键词：拉曼散射波长应力
- 低温氧等离子体处理对单层石墨烯微观结构影响的研究被引量：2
- 2016年
- 运用低温氧等离子体对化学气相沉积法生长的单层石墨烯进行处理,通过拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪来表征处理前后的变化,重点探讨了低温氧等离子体处理对单层石墨烯微观结构的影响。在拉曼光谱中,处理后的石墨烯出现了明显的D峰和D′峰,同时G峰和2D峰也出现了明显的退化,而G峰峰位右移,2D峰峰位左移。通过X射线光电子能谱表征,表明处理后向石墨烯中引入了较多的官能团。利用原子力显微镜研究了处理前后SiO_2/Si基底上石墨烯的表面形貌,发现低温氧等离子体处理后石墨烯表面高度明显增加,同时褶皱减少。
- 邓海君王权
- 关键词：化学气相沉积石墨烯拉曼光谱XPS原子力显微镜
- 单层石墨烯在空气中的热稳定性研究被引量：4
- 2015年
- 采用化学气相沉积方法制备了高质量的大面积单层石墨烯,利用拉曼光谱、X射线光电子能谱和原子力显微镜对在空气中热处理前后的石墨烯进行了表征,研究了单层石墨烯在空气中的热稳定性。结果表明,在空气中热处理后,石墨烯的缺陷明显增加,晶粒发生细化,其主要是由于热处理后石墨烯会发生轻微的氧化,表面形成C O及C—OH键。另外,由于石墨烯与衬底的结合形态有所变化,使得热处理后石墨烯表面更趋平整。
- 李允王权
- 关键词：石墨烯化学气相沉积拉曼光谱XPS原子力显微镜
