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中央民族大学青年教师科研基金(CUN0220)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：闫晓东王志娟汤建华郑玉彤更多>>
相关机构：中央民族大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：中央民族大学青年教师科研基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇有限元
  • 1篇有限元法
  • 1篇阻值
  • 1篇激光
  • 1篇激光调阻

机构

  • 1篇中央民族大学
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 1篇郑玉彤
  • 1篇汤建华
  • 1篇王志娟
  • 1篇闫晓东

传媒

  • 1篇电子器件

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于有限元法的激光横向刻蚀路径对片阻阻值影响的研究
2008年
应用激光对片阻阻值进行修调时,垂直于电流方向的横向刻蚀对片阻的阻值影响较大,合理设计横向刻蚀的起刻位置和刻蚀长度能够以较低成本提高激光调阻精度及调阻效率。应用有限元法可得激光横向刻蚀长度和横向起刻位置对片阻阻值影响的定性、定量结论。经实验验证:应用有限元法得到的横向刻蚀路径对阻值影响的定性结论与实验结论一致、定量结论的计算偏差不大于2%,能够为提高调阻精度和调阻效率提供控制依据。
王志娟郑玉彤闫晓东汤建华
关键词：激光调阻有限元法
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