深圳市科技计划项目(200517)
- 作品数：5 被引量：14H指数：3
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- 坩埚预处理技术在氮化铝晶体生长工艺中的应用被引量：3
- 2006年
- 在氮化铝晶体生长工艺中,坩埚的使用寿命是主要技术难点之一。实验发现,在钨坩埚体和盖之间放置内径和外径与坩埚相同的石墨环,在氮气环境下进行一次高温处理,使钨坩埚体与盖接触的部位形成碳化钨保护层,可以有效地解决高温下钨坩埚体与盖相粘结的问题,大大提高了坩埚的使用寿命。使用经过预处理的钨坩埚,用物理气相法生长出0.8mm×1.5mm氮化铝单晶体和36mm×5mm氮化铝多晶片。
- 武红磊郑瑞生孙秀明罗飞杨帆刘文敬守勇
- 关键词：坩埚
- 粉料预处理方法对氮化铝晶体形态的影响
- 2007年
- 以氮化铝粉料为原料，在高纯氮气条件下用物理气相法制备氮化铝晶体。采用不同方法对氮化铝粉料进行预处理，研究它对氮化铝晶体形态的影响。实验结果表明，通过对氮化铝粉料的预烧结，可以有效地减少粉料中杂质的含量，实现合适的气体输运速率，从而得到了尺寸较大、质量较高的六棱柱形的氮化铝单晶体。
- 孙秀明郑瑞生武红磊杨帆刘文敬守勇
- 关键词：氮化铝晶体晶体形态
- 高温气相法生长AlN晶体中保温材料的研究被引量：1
- 2008年
- 保温材料是影响高温气相法生长AlN晶体的主要因素之一。石墨由于其优良的耐高温性和低的热导率,成为目前制备AlN最常用的保温材料,但是存在易引入C杂质、减少坩埚寿命等缺点。采用不添加任何添加剂AlN粉体制作了高温气相法生长AlN晶体的保温材料,并与石墨保温材料进行对比研究发现,AlN保温材料具有耐高温、对W坩埚材料没有损伤、使用寿命长、不易在晶体中引入杂质等优点,是一种优良的高温保温材料。但是,与石墨保温材料相比,AlN也存在热导率相对较高、在高温过程中AlN粉体会出现少量升华污染炉腔等缺点,在使用中要采取一定的对策。
- 武红磊郑瑞生孟姝
- 关键词：氮化铝石墨晶体保温
- 气相生长氮化铝单晶的新方法被引量：8
- 2007年
- 通过在钨坩埚盖开小孔的方法改变氮化铝结晶衬底上的温度场分布,在开孔处形成局部低温区;由于孔的几何尺寸的限制和氮化铝晶体生长的各向异性,开孔处的氮化铝晶体单晶化;随后,开孔处的单晶起籽晶的作用,逐渐长成较大尺寸、较高质量的氮化铝单晶。目前用该方法已经制备出直径大于2mm的氮化铝单晶体。
- 武红磊郑瑞生孙秀明罗飞杨帆刘文敬守勇
- 关键词：氮化铝单晶
- 用于晶体生长的氮化铝保温材料的研究被引量：8
- 2009年
- 在不添加任何添加剂的情况下,采用氮化铝粉体作高温气相法生长氮化铝晶体的保温材料。实验结果表明:氮化铝保温材料具有耐高温、对钨坩埚材料没有损伤、使用寿命长、不易在晶体中引入杂质等优点,是一种优良的高温保温材料。与目前常用的石墨保温材料相比较,氮化铝存在热导率相对较高、在高温过程中会少量升华污染炉腔等缺点,在使用中要采取一定的对策,以消除其不利影响。
- 武红磊郑瑞生孟姝
- 关键词：氮化铝石墨晶体保温
- 高温气相法生长AlN晶体中保温材料的研究
- 保温材料是影响高温气相法生长AlN晶体的主要因素之一。石墨由于其优良的耐高温性和低的热导率,成为目前制备AlN最常用的保温材料,但是存在易引入C杂质、减少坩埚寿命等缺点。采用不添加任何添加剂AlN粉体制作了高温气相法生长...
- 武红磊郑瑞生孟姝
- 关键词：氮化铝石墨晶体保温
- 文献传递
