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中央高校基本科研业务费专项资金(CDJZR12130048)
作品数:
1
被引量:9
H指数:1
相关作者:
张伟
王雪丽
贾志宏
刘庆
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相关机构:
重庆大学
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
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相关领域:
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FIB
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刘庆
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张伟
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2013
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聚焦离子束技术制备与样品表面平行的TEM样品
被引量:9
2013年
制备目标材料的高质量TEM样品对TEM测试表征和结果分析具有决定性作用。聚焦离子束(FIB)技术由于其微观定位选区制样的优势在TEM样品制备上已有一定应用。本文介绍了FIB/SEM双束系统制备与样品表面平行的TEM样品的方法("V-cut"),并与传统的FIB制备TEM样品的方法("U-cut")进行比较,分析了该方法对实现某些特殊研究目的的独特性和适用性。
王雪丽
张伟
贾志宏
刘庆
关键词:
FIB
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