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中央高校基本科研业务费专项资金(CDJZR12130048)

作品数：1 被引量：9H指数：1
相关作者：张伟王雪丽贾志宏刘庆更多>>
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相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇FIB

机构

  • 1篇重庆大学

作者

  • 1篇刘庆
  • 1篇贾志宏
  • 1篇王雪丽
  • 1篇张伟

传媒

  • 1篇电子显微学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
聚焦离子束技术制备与样品表面平行的TEM样品被引量：9
2013年
制备目标材料的高质量TEM样品对TEM测试表征和结果分析具有决定性作用。聚焦离子束(FIB)技术由于其微观定位选区制样的优势在TEM样品制备上已有一定应用。本文介绍了FIB/SEM双束系统制备与样品表面平行的TEM样品的方法("V-cut"),并与传统的FIB制备TEM样品的方法("U-cut")进行比较,分析了该方法对实现某些特殊研究目的的独特性和适用性。
王雪丽张伟贾志宏刘庆
关键词：FIB
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