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国家自然科学基金(61066004)
作品数:
1
被引量:7
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相关作者:
段良飞
杨培志
李学铭
廖承菌
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段良飞
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2014
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单晶硅制绒的实验研究
被引量:7
2014年
为制备具有理想金字塔织构表面的单晶硅,采用原硅片、碱体系抛光硅片、酸体系抛光硅片分别在氢氧化钠/硅酸钠/异丙醇(NaOH/Na2SiO3·9H2O/IPA)体系、NaOH/IPA体系、碳酸钠/碳酸氢钠(Na2CO3/NaHCO3)体系下对单晶硅表面织构进行实验研究。利用智能型数字显微镜对表面形貌进行观察,利用紫外-可见-近红外分光光度计测量反射光谱。结果表明:酸体系抛光硅片的表面较为平整,再通过NaOH/Na2SiO3·9H2O/IPA体系制备的金字塔绒面结构完整、排布紧密、大小一致,且具有较低的反射率。
王兴普
段良飞
廖承菌
杨雯
李学铭
廖华
杨培志
关键词:
单晶硅
抛光
各向异性
绒面
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