国家自然科学基金(91023046)
- 作品数：5 被引量：15H指数：1
- 相关作者：徐征刘冲杨天天李昕欣许鹏程更多>>
- 相关机构：大连理工大学中国科学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：化学工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 自组装单层膜模板控制生长氧化亚铜晶体及其对DMMP气体的检测(英文)
- 2011年
- 使用了一种在自组装单分子层(SAM)模板衬底上由电化学氧化还原自发生长的方法,择优取向生长氧化亚铜(Cu2O)微晶.通过扫描电子显微镜和微区XRD等方法对合成的Cu2O晶体进行了形貌和结构表征.结果表明:合成的样品为立方结构的Cu2O晶体,且形貌、取向和颗粒尺寸得到了有效控制,此结果可归结为SAMs对电化学氧化还原过程的影响和结晶过程中的模板效应.利用该方法,将Cu2O晶体生长于静态式微悬臂梁的表面作为敏感层,制得了一种新型的化学传感器.基于Cu2O晶体表面的Cu(I)与DMMP(甲基膦酸二甲酯,沙林模拟剂)分子中的膦酰基团之间存在的配位作用,该传感器可对几十ppb的DMMP重复响应.
- 杨天天许鹏程左国民李昕欣
- 关键词：氧化亚铜自组装单分子层气体传感器
- 用于痕量胺类同系物检测的谐振式微悬臂梁传感器被引量：1
- 2011年
- 采用化学修饰法,将酸性羧基基团嫁接于高比表面的积的SBA-15介孔材料中,然后将该功能化介孔材料负载于集成谐振式微悬臂梁表面,制得一种高性能的挥发性胺类同系物传感器。胺类分子的吸附将导致质量型微悬臂梁传感器谐振频率的下降,传感器检测下限可达ppb量级。对一系列胺类同系物的检测结果表明,胺类分子在羧基功能化介孔表面的吸附程度与其气相碱度强弱有关。
- 杨天天于海涛许鹏程李昕欣
- 关键词：微电子机械系统化学传感器微悬臂梁介孔材料
- 基于电动微纳流体的离子高效富集研究进展
- 面向基于电动纳流体的离子高效富集,从理论、微纳制造、测试技术以及应用等方面开展如下研究:(1)以Poisson-Nernst-Planck模型为基础,计算了双电层排阻效应、离子输运电泳和流体流动-电渗流对纳米富集的作用机...
- 徐征王俊尧胡帅龙刘冲李永奎王立鼎
- 关键词：免疫分析
- 文献传递
- 工艺参数对平板微小器件注塑翘曲的影响被引量：12
- 2013年
- 对显著影响平板微小器件注塑成型的翘曲现象进行了研究。为了减少翘曲量,以带十字微沟槽的微流控芯片的基片为研究对象,研究了注塑工艺涉及的工艺参数。从注塑残余应力角度分析了翘曲变形的产生机理与演化过程。然后,以数值仿真和工艺实验为手段,建立了平板微小器件翘曲的测量方法。设计加工了基于硅型芯的注塑模具,以翘曲测量方法为基础,利用正交试验获得了最优注塑工艺参数。最后,通过极差分析法定量分析工艺参数对翘曲的影响。实验显示,通过工艺优化获得的最小翘曲量为141μm,工艺参数对翘曲的影响由大到小依次为:保压时间、模具温度、保压压力、熔体温度、冷却时间。该研究成果为平板微小器件注塑工艺提供了参考依据。
- 徐征王继章吕治斌刘军山王林刚
- 关键词：注塑成型翘曲
- 低变形镍模具微电铸加工的工艺优化(英文)被引量：1
- 2013年
- 微电铸工艺提供了一种有效的技术手段来制造金属模具,这种金属模具可被用于微图形的复制.模具的微电铸加工存在一个瓶颈问题:模具表面的不平整.金属模具的弯曲是造成模具表面不平整的主要原因之一.金属模具的弯曲变形会对微结构的复制精度产生影响.为了获得低变形镍模具,对微电铸工艺参数进行了优化.优化后的微电铸液中含有的镍离子质量浓度为80～90 g/L,硼酸的质量浓度为40～45 g/L,并且加入了0.3%L-1的润湿剂,其pH值控制在3.7～4.2之间.微电铸液的温度保持在50～55℃.在微电铸过程中,采用了电流密度为2～3A/dm2的脉冲电流,占空比为0.2.结果表明:采用优化后的工艺参数,可以获得低变形的镍模具,其变形量下降了19%.利用优化后的微电铸工艺,加工了一种可以用于热压工艺的镍模具,模具上的图形线宽为5μm,深度为5μm.
- 刘冲柯学李经民段亚杰
- 关键词：微电铸
- 微流控芯片设计方法研究进展被引量：1
- 2012年
- 本文综述了微流控芯片设计方法的研究进展,归纳和总结了目前主要的设计方法,包括数值模拟法和基于宏模型的设计方法。最后介绍了宏-微模型设计方法,通过建立宏-微接口,实现了数值模拟和宏模型的灵巧桥接,有助于改善微流控芯片设计方法的兼容性和自适应性。
- 陈雪叶刘冲徐征徐辉王立鼎
- 关键词：微流控芯片宏模型
