国家自然科学基金(91023021)
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
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- 相关机构：中国计量科学研究院天津大学合肥工业大学更多>>
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- 相关领域：机械工程理学一般工业技术更多>>
- X射线衍射仪角度校准的光学新方法被引量：2
- 2014年
- 目前X射线衍射仪(XRD)的角度检定和校准测试主要依据JJG 629—1989《多晶X射线衍射仪检定规程》和JB/T 9400—2010《X射线衍射仪技术条件》等技术文件,具体方法是采用光学经纬仪或多面棱体等进行测试,该测量方法实际应用中存在一定难度,其次测量间隔较大,不能很好反映真实的角度误差规律.为此,提出了利用θ角和2θ角同轴并可独立运动的特点,组合采用光电自准直仪和小角度激光干涉仪等仪器,设计了一种新的XRD的角度校准方法,它能够自动快速地连续测量角度,取k=2时,扩展不确定度约1.2″.使用该方法测试能够精确得到θ和2θ轴的误差数据,可用于修正XRD测角误差,提高XRD测试精度.该方法也适用于同步辐射等大型衍射系统等其他需要角度校准的情况.
- 崔建军高思田邵宏伟杜华王鹤岩
- 关键词：计量学X射线衍射
- 基于X射线掠射法的纳米薄膜厚度计量与量值溯源研究被引量：7
- 2014年
- 为了实现纳米薄膜厚度的高精度计量,研制了可供台阶仪、扫描探针显微镜等接触测量的纳米薄膜样片,研究了X射线掠射法测量该纳米薄膜样片厚度的基本原理和计算方法,导出了基于Kiessig厚度干涉条纹计算膜层厚度的线性拟合公式,并提出了一种可溯源至单晶硅原子晶格间距和角度计量标准的纳米膜厚量值溯源方法,同时给出了相应的不确定度评定方法.实验证明:该纳米薄膜厚度H测量相对扩展不确定度达到U=0.3 nm+1.5%H,包含因子k=2.从而建立了一套纳米薄膜厚度计量方法和溯源体系.
- 崔建军高思田
- 基于 FPGA 的逐次逼近算法实现激光干涉信号细分
- 2014年
- 为了实现激光干涉测量中信号的高速度、高精度细分，对正切细分算法中的除法运算进行了改进，采用逐次逼近算法替代使用较多的移位相减算法。实验证明逐次逼近算法比移位相减算法运算速度更快、资源占用较少。更适合 FPGA 信号细分高速度、高精度要求。
- 黄晓清高思田缪琦卢荣胜
- 关键词：计量学激光干涉FPGA
