您的位置: 专家智库
>
资助详情>
湖北省自然科学基金(2005ABA300)
湖北省自然科学基金(2005ABA300)
- 作品数:2 被引量:4H指数:1
- 相关作者:刘晓军宋浩王益民更多>>
- 相关机构:华中科技大学更多>>
- 发文基金:湖北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程生物学农业科学更多>>
- 基于偏振相移的干涉条纹细分原理被引量:4
- 2008年
- 基于偏振相移和相关分析,提出一种高分辨率、方便实现的干涉条纹细分原理.该原理将细分环节由电子线路信号处理部分向前移,通过干涉条纹强度分布综合信息的分析与处理来实现,即通过具有高分辨率的偏振相移操作,对干涉相位进行相位调控,使干涉条纹强度分布回到位移起始时的状态,则与相位调控量对应的光程,即为位移的λ/2小数倍部分.由于偏振相移采用具有极大放大倍数的硬件机械运动实现,因而能取得可靠的高分辨率细分.理论分析和模拟结果显示,该干涉条纹细分原理可容易地达到nm级细分分辨率.
- 刘晓军宋浩
- 关键词:干涉条纹位移传感器分辨率
- 一种实用纳米级位移测量校准器
- 2007年
- 提出基于新型共光路激光干涉原理的纳米级位移测量校准器,建立了其测量的数学模型,分析了其误差特性。由于采用相移干涉的相位分析技术实现波长小数测量,该测量校准器的精度好于0.5nm,量程达到几个mm;又由于共光路和紧凑的结构设计,因而具有良好的抗干扰特性,能够应用于一般实验环境。
- 宋浩刘晓军王益民
- 关键词:校准器