国家自然科学基金(60377019)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 相关作者：刘彩霞陈维友张歆东贾翠萍董玮更多>>
- 相关机构：吉林大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金高等学校科技创新工程重大项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 体硅MOEMS阵列光开关的制作被引量：2
- 2006年
- 设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列。具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直,各单元的微镜面平行,反射镜面的尺寸较大等优点。对光开关的参数进行了测试,指出了体硅MOEMS阵列光开关制作过程中存在的问题。
- 董玮梁静秋刘彩霞张歆东贾翠萍周敬然王立军陈维友
- 关键词：光开关阵列微光电子机械系统微反射镜倾斜下电极
- 基于PDLC的可变光衰减器的研制被引量：1
- 2006年
- 介绍了一种新型的低成本、小体积的的液晶可变光衰减器的设计与制作.该衰减器采用聚合物分散液晶材料,使其填充在经过耦合的带透明导电电极的两根单模光纤的间隙里,利用聚合物分散液晶在不同电场强度下引起的光的散射效应的变化,来实现对光路能量的可控连续衰减.采用体硅微细加工技术术成功地制作出了这种衰减器,并对器件进行了测试,结果表明:当传输的光波长为1550nm时,该衰减器的插入损耗为0.85dB;衰减的最大范围为0.85dB-14.21dB;驱动电压范围9V^57V.
- 仲志成刘彩霞张歆东王明峰唐勇贾翠萍薛海林陈维友
- 关键词：插入损耗微电子机械系统
