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上海市科委纳米专项基金(0652nm004)

作品数：7 被引量：16H指数：3
相关作者：王庆康吴斌周勇李海华李小丽更多>>
相关机构：上海交通大学更多>>
发文基金：上海市科委纳米专项基金国家高技术研究发展计划“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
相关领域：电子电信化学工程自动化与计算机技术电气工程更多>>

文献类型

  • 7篇中文期刊文章

领域

  • 5篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇波导
  • 2篇波导型
  • 1篇等离子体共振
  • 1篇电容
  • 1篇电子学
  • 1篇修饰
  • 1篇亚波长
  • 1篇亚波长结构
  • 1篇射频微机电系...
  • 1篇特性计算
  • 1篇透射
  • 1篇透射谱
  • 1篇品质因数
  • 1篇气相法
  • 1篇微电感
  • 1篇微机电系统
  • 1篇物理模型
  • 1篇离子
  • 1篇螺线管
  • 1篇纳米

机构

  • 7篇上海交通大学

作者

  • 5篇王庆康
  • 3篇吴斌
  • 2篇周勇
  • 1篇付世
  • 1篇曹莹
  • 1篇方东明
  • 1篇李小丽
  • 1篇周志敏
  • 1篇刘汉玉
  • 1篇赵小林
  • 1篇丁文
  • 1篇李海华
  • 1篇郭绍寅

传媒

  • 2篇上海交通大学...
  • 2篇微纳电子技术
  • 1篇量子电子学报
  • 1篇Journa...
  • 1篇光电子技术

年份

  • 2篇2008
  • 5篇2007
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
亚波长结构的抗反射特性三维TLM方法模拟被引量：3
2008年
传输线矩阵(Transmission line matrix,以下简称TLM)方法,根据场方程和传输线方程之间的相似性,用等效分布传输线网络模拟给定结构,在时间和空间上进行离散化,是一种强有力的三维时域电磁场数值仿真算法。简要介绍三维扩展型结点TLM方法的模型、激励源和边界条件,并使用该方法对亚波长结构的抗反射特性进行模拟研究,为进一步深入探讨该结构的抗反射特性、进行优化设计提供依据。
刘汉玉王庆康
关键词：亚波长结构抗反射
集成波导型表面等离子体共振传感芯片及其理论分析被引量：1
2008年
集成波导型表面等离子体共振传感芯片是表面等离子体共振传感技术和微电子制造技术相结合的产物。介绍了集成表面等离子体共振传感芯片的工作机理和基本结构,并通过基于传统波导模式的分析法结合表面等离子体波的色散方程,发展出简单实用的波导表面等离子体共振分析方法。利用该方法对波导型表面等离子体共振传感芯片的工作状态进行了理论建模,给出了各特性参数之间的关系。这证明该方法是分析等离子体共振传感芯片优化的有力工具。
吴斌王庆康
关键词：光电子学
纳米压印技术中模板表面的气相法抗粘连修饰被引量：6
2007年
研究了采用全氟四氢辛基硅烷(F13-TCS)对纳米压印技术中所用SiO2模板进行表面修饰的情况,分析了用气相法在SiO2模板表面形成F13-TCS单分子膜的形成过程及化学机理,并用X射线光电子能谱仪(XPS)和视频光学接触角测试仪对模板修饰表面的元素成分、价态和表面能进行了测试表征,用原子力显微镜(AFM)对压印过程中的模板结构及模板复制结构进行了对比分析.结果表明,通过F13-TCS对SiO2模板的表面修饰,可以大大降低模板与压印聚合物层之间的相互作用力,在纳米压印过程中实现结构较好的转移、复制.
李海华李小丽王庆康
关键词：纳米压印气相法表面修饰
集成表面等离子体共振传感芯片被引量：1
2007年
集成表面等离子体共振传感芯片是表面等离子体共振传感技术和微电子集成制造技术结合的产物。介绍了表面等离子体的共振传感的原理和传统器件;重点介绍了集成表面等离子体传感芯片的发展背景、基本结构、制造工艺,并给出了其在金属传感层、整体结构、传感附着膜三个方面的优化方向;对其未来的发展前景进行了展望。
吴斌王庆康
关键词：表面等离子体共振基本结构
静电驱动可调微机械电容被引量：1
2007年
利用简单MEMS技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容.此电容由静电驱动,利用WYKONT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变电容的表面轮廓和位移等信息.测试结果表明,电容的吸合电压为13.5V,电容可调比为1.31:1,在1GHz下品质因数为51.6,电容值为0.79pF.
方东明付世周勇赵小林
关键词：可调电容射频微机电系统品质因数
磁芯螺线管微电感的计算机模拟被引量：3
2007年
采用电磁场理论建立了FeNi磁芯螺线管微电感的物理模型,并对交流载荷下的微电感进行了模拟.通过与磁芯厚度为10、20、30和40μm的微电感的实验结果对比,表明该物理模型能够较准确地模拟磁芯螺线管微电感的主要损耗,进而可计算微电感的电感量和品质因子.模拟结果与实验符合较好.
郭绍寅周勇周志敏曹莹丁文
关键词：螺线管微电感磁芯物理模型
波导型表面等离子体共振传感器传感特性计算被引量：1
2007年
介绍了集成波导型表面等离子体共振传感器工作原理和基本结构,用传统波导模式的分析法结合表面等离子体波的色散方程,计算集成波导型表面等离子体共振传感器理论模型的共振波长。通过基于菲涅耳方程的解析分析,得到了含有表面等离子体共振吸收峰的透射谱。通过比较不同折射率被测物的透射谱,粗略确定了集成波导型表面等离子体传感器的检测范围。
吴斌王庆康
关键词：透射谱
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